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申请/专利权人：出光兴产株式会社;国立大学法人东海国立大学机构;日机装株式会社
摘要：层叠体，其具有包含III‑V族氮化物半导体的半导体层、以及电极层；电极层包含镁氧化物和锌氧化物，电极层中镁相对于镁和锌的总计的摩尔比[Mg（Mg＋Zn）]为0.25以上且0.75以下，电极层的电导率为1.0×10‑2Scm以上。
主权项：1.层叠体，其具有：包含III-V族氮化物半导体的半导体层、和电极层；所述电极层包含镁氧化物和锌氧化物；所述电极层中所述镁相对于镁和锌的总计的摩尔比[Mg（Mg＋Zn）]为0.25以上且0.75以下，所述电极层的电导率为1.0×10-2Scm以上该层叠体是通过将所述电极层在750℃以上的温度下进行热处理而形成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 出光兴产株式会社 国立大学法人东海国立大学机构 日机装株式会社 氧化物层叠体及其制造方法
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