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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
摘要：本发明适用于光学元件无损检测技术领域，提供了一种同时检测光学元件折射率与镀膜反射率的测试系统及方法，该系统包括光学谐振腔、光纤、光谱仪和处理装置；光学谐振腔，用于在插入待测光学元件后形成复合腔，发出目标宽谱光源；光纤，用于将目标宽谱光源传入光谱仪；光谱仪，用于生成目标宽谱光源的目标光谱数据，并将目标光谱数据发送至处理装置；处理装置，用于基于目标光谱数据，确定目标宽谱光源的谱线宽度和谱线频率间隔；基于谱线频率间隔、预设角度和待测光学元件的厚度，确定待测光学元件的折射率；基于谱线宽度、折射率和厚度，确定待测光学元件的镀膜反射率。本发明通过一套光学体系同时测出反射率和折射率，能够提高测试效率和精度。
主权项：1.一种同时检测光学元件折射率与镀膜反射率的测试系统，其特征在于，包括光学谐振腔、光纤、光谱仪和处理装置；所述光学谐振腔，用于在插入待测光学元件后形成复合腔，发出目标宽谱光源；其中，所述光学谐振腔的轴线与所述待测光学元件的法线的夹角为预设角度；所述待测光学元件前后两平面互相平行且镀有相同的薄膜；所述光纤，用于将所述目标宽谱光源传入所述光谱仪；所述光谱仪，用于生成所述目标宽谱光源的目标光谱数据，并将所述目标光谱数据发送至所述处理装置；所述处理装置，用于基于所述目标光谱数据，确定所述目标宽谱光源的谱线宽度和谱线频率间隔；基于所述谱线频率间隔、所述预设角度和所述待测光学元件的厚度，确定所述待测光学元件的折射率；基于所述谱线宽度、所述折射率和所述厚度，确定所述待测光学元件的镀膜反射率；其中，所述谱线频率间隔为相邻两个峰值之间的频率差。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第十三研究所 同时检测光学元件折射率与镀膜反射率的测试系统及方法
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