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申请/专利权人：尊芯智能科技(苏州)有限公司
摘要：本发明的实施例涉及一种半导体制造领域的物流输送设备，特别涉及一种抓取平台的调平方法、调整机构及抓取系统，调平方法包括如下步骤：当抓取平台在抓取或释放晶圆传送盒时，实时获取抓取平台上升或下降时的姿态；根据获得的抓取平台的姿态，判断抓取平台是否倾斜；如判定抓取平台倾斜，则控制设置于抓取平台上的调平装置，使调平装置对抓取平台执行调平动作。同现有技术相比，当抓取平台抓取或释放晶圆传送盒时，通过对抓取平台升降时的姿态的获取，可判断抓取平台是否倾斜，一旦判定抓取平台倾斜，即可控制调平装置对抓取平台执行调平动作，从而保证了抓取平台在抓取或释放晶圆传送盒时的水平度，使得抓取平台具有较高的稳定性和可靠性。
主权项：1.一种抓取平台的调平方法，其特征在于，所述调平方法包括如下步骤：当所述抓取平台在抓取或释放晶圆传送盒时，实时获取所述抓取平台上升或下降时的姿态；根据获得的所述抓取平台的姿态，判断所述抓取平台是否倾斜；如判定所述抓取平台倾斜，则控制设置于所述抓取平台上的调平装置，使所述调平装置对所述抓取平台执行调平动作；在实时获取所述抓取平台上升或下降时的姿态的步骤中，具体包括：实时检测所述抓取平台沿X轴的第一倾斜角的角度、实时检测所述抓取平台沿Y轴的第二倾斜角的角度；在根据获得的所述抓取平台的状态，判断所述抓取平台是否倾斜的步骤中，具体包括：当测得所述抓取平台沿X轴的所述第一倾斜角的角度，和或测得所述抓取平台沿Y轴的所述第二倾斜角的角度大于预设角度时，则判定所述抓取平台倾斜；当测得所述抓取平台沿X轴的所述第一倾斜角的角度、测得所述抓取平台沿Y轴的所述第二倾斜角的角度均小于或等于预设角度时，则判定所述抓取平台未倾斜。
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权利要求：
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