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申请/专利权人：中国科学院理化技术研究所
摘要：本发明提供一类基于金刚烷结构的丙炔醇型单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用。本发明结合了化学放大型光刻胶和单分子树脂的优势，合成了一系列基于金刚烷核心外围接枝丙炔醇基团的单分子树脂。该系列化合物具有很高的热稳定性，成膜性好，电子束和深紫外光刻显示该系列光刻胶材料所得到的图案具有高的分辨率和灵敏度，且留膜率高，有利于后续的图案转移，有望满足高分辨光刻的要求。
主权项：1.如下式I、或式II、或式III所示的化合物： 其中，式（I）中R1a~R10a；式（II）中R1b~R15b；式（III）中R1c~R20c相同或不同，各自独立地选自-C≡C-COHRARB或基团Z，所述基团Z为H、C1-15烷基、C1-15烷氧基、C3-20环烷基、C6-20芳基、5-20元杂芳基、3-20元杂环基；RA、RB相同或不同，各自独立地选自H，未取代，或被一个、两个或更多个RC取代的如下基团：C1-15烷基、C6-20芳基、-C1-15烷基-C6-20芳基、5-20元杂芳基、氘代C1-15烷基；或者RA、RB和与其相连的碳原子一起形成未取代或任选被一个、两个或更多个RC取代的5-8元环烷基；所述的RA和RB至少一个不为H；所述5-8元环烷基任选地再含有1-2个氧或硫；RC相同或不同，彼此独立地选自H、氧代、NO2、CN、C1-15烷基、C1-15烷氧基；且式I、式II和式III所示化合物中具有1个以上的如下基团：-C≡C-COHRARB。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院理化技术研究所 基于金刚烷核心的多丙炔醇型的单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用
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