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申请/专利权人：巨玻固能(苏州)薄膜材料有限公司
摘要：本发明提供一种用于氮气的离子化装置及镀膜设备，涉及氮化物镀膜技术领域。离子化装置包括用于形成含氮气和氢气的混合气体的混合室，混合气体中的氢气和氮气的体积含量比值为范围在1%‑20%中任一值，壳体内形成有反应腔体，壳体的进气口用于向反应腔体内输入混合气体，混合气体的流速为范围在15sccm‑80sccm，射频线圈用于在反应腔体内形成电磁场，电磁场用于电离混合气体以形成氮离子，射频线圈的电流为范围在150mA‑250mA，栅极用于在出气口形成加速电场，加速电场的电压为范围在400V‑600V中任一值，加速电场用于对氮离子加速以形成氮离子射流，混合气体中的氢气的含量根据氮化物的性能参数变化。本发明的离子化装置能够提高氮气的离子化效率，简化离子化装置的结构，降低成本。
主权项：1.一种用于氮气的离子化装置，其特征在于，包括：混合室，用于形成含氮气和氢气的混合气体，所述混合气体中的所述氢气和所述氮气的体积含量比值为范围在1%-20%中任一值；壳体，位于所述混合室的顶部，所述壳体内形成有反应腔体，所述壳体还包括进气口和出气口，所述进气口用于向所述反应腔体内输入所述混合气体，所述混合气体的流速为范围在15sccm-80sccm中任一值；射频线圈，套设于所述壳体的周侧，所述射频线圈用于在所述反应腔体内形成电磁场，所述电磁场用于电离所述混合气体以形成氮离子，所述氮离子用于形成氮化物，所述射频线圈的电流为范围在150mA-250mA中任一值；栅极，位于所述出气口，所述栅极用于在所述出气口形成加速电场，所述加速电场的电压为范围在400V-600V中任一值，所述加速电场用于对所述氮离子加速以形成氮离子射流；其中，所述混合气体中的所述氢气的含量根据所述氮化物的性能参数变化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 巨玻固能(苏州)薄膜材料有限公司 一种用于氮气的离子化装置及镀膜设备
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