龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：苏州优晶半导体科技股份有限公司
摘要：本发明的实施例提供了一种串联式多坩埚设备及使用方法，涉及晶体生长领域。该串联式多坩埚设备包括保温筒、加热件、升降装置以及至少两个坩埚，保温筒具有沿竖直方向设置的空腔，空腔包括相互连通的加热腔和存储腔，加热件设置于保温筒的外部，且加热件的位置和加热腔的位置相对应，至少两个坩埚均设置于空腔内，升降装置和坩埚连接，升降装置带动至少两个坩埚在空腔内沿竖直方向滑动，使得至少两个坩埚依次到达加热腔以及存储腔，从而依次进行加热工作以及加热后的存储工作。从而增加一次生产过程中合成的碳化硅原料的数量，提高生产效率。
主权项：1.一种串联式多坩埚设备，其特征在于，包括：保温筒（10），所述保温筒（10）具有沿竖直方向设置的空腔，所述空腔包括相互连通的加热腔（11）和存储腔（12）；加热件（20），所述加热件（20）设置于所述保温筒（10）的外部，且所述加热件（20）的位置和所述加热腔（11）的位置相对应；至少两个坩埚（30），至少两个所述坩埚（30）均设置于所述空腔内；升降装置（40），所述升降装置（40）和所述坩埚（30）连接，所述升降装置（40）带动至少两个所述坩埚（30）在所述空腔内沿竖直方向滑动，使得至少两个所述坩埚（30）依次到达所述加热腔（11）以及所述存储腔（12），从而依次进行加热工作以及加热后的存储工作；所述坩埚（30）的数量为N个，N个所述坩埚（30）沿竖直方向层叠设置，所述存储腔（12）的高度不小于N﹣1个所述坩埚（30）的总高度；所述加热件（20）的高度是所述加热腔（11）的高度的1.1倍-2倍；所述升降装置（40）包括滑动框体（41）以及驱动件（42），所述驱动件（42）和所述滑动框体（41）连接，所述滑动框体（41）可滑动地设置于所述空腔；所述滑动框体（41）包括下保温板（411）以及隔热板（412），所述下保温板（411）的底部和所述驱动件（42）连接，至少两个所述坩埚（30）均承托在所述下保温板（411）上，且所述隔热板（412）设置于相邻两个所述坩埚（30）之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州优晶半导体科技股份有限公司 一种串联式多坩埚设备及使用方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号