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申请/专利权人：广东风华高新科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种表征MLCC钛酸钡陶瓷晶粒的样品处理方法，涉及陶瓷晶粒分析方法。包括将MLCC沿长轴或短轴固封在磨台，并机械抛磨至有效电极区域；所得样品进行离子刻蚀；随后浸于酸溶液中进行酸蚀；取出后用水冲洗磨台表面。本发明提供了一种表征MLCC钛酸钡陶瓷晶粒的样品处理方法，与传统的单纯酸腐蚀或热腐蚀表征陶瓷晶粒相比，本发明所述方法对样品抛面预先进行了离子刻蚀处理，离子刻蚀有效去除因抛磨而延展的Ni内电极和钛酸钡陶瓷晶粒，在酸腐蚀前，使钛酸钡晶粒的晶界充分暴露，提升了后续酸腐蚀的效果，陶瓷晶粒轮廓明显，晶界腐蚀完全，解决目前分析MLCC钛酸钡陶瓷晶粒形貌和粒径的不足之处。
主权项：1.一种表征MLCC钛酸钡陶瓷晶粒的样品处理方法，其特征在于，包括以下步骤：1将MLCC沿长轴或短轴固封在磨台，并机械抛磨至有效电极区域；2对步骤1所得样品进行离子刻蚀；3将步骤2的样品浸于酸溶液中进行酸蚀；4将步骤3的样品取出后用水冲洗磨台表面；在步骤2中，离子刻蚀的离子枪角度为1°-10°，电压为2kv-8kv，时间为2h-4h；在步骤3中，所述酸溶液包括HCl和HNO3，所述酸溶液包括HCl、HNO3和水按体积比为1：1：1-5的比例混合，所述酸蚀时间为5-20min。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东风华高新科技股份有限公司 一种表征MLCC钛酸钡陶瓷晶粒的样品处理方法
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