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申请/专利权人：福伦瑞生科技(苏州)有限公司
摘要：本发明涉及压力传感结构技术领域，且公开了超高灵敏度的光纤F‑P腔压力传感结构，包括单模光纤和容器，单模光纤置于容器的内部，且容器的内部盛有液体，单模光纤的底部配合有石英管，且所述石英管完全浸泡在液体中，石英管内部充入氦气，容器的底部且位于石英管的正下方设置有反射膜，液体与外界空气的接触面为液面A，液体与石英管内部的氦气的接触面为液面B。该超高灵敏度的光纤F‑P腔压力传感结构采用光纤传感，可实现微小压力变化的测量，其F‑P腔为无膜片式结构，灵敏度大大提高，并且采用了空气、液体双腔结构，相较于传统单腔结构，灵敏度有所提高，石英管内壁刻蚀成圆台状，且空气腔内气体用氦气代替空气，灵敏度有所提高。
主权项：1.超高灵敏度的光纤F-P腔压力传感结构，包括单模光纤（1）和容器（2），其特征在于：所述单模光纤（1）置于容器（2）的内部，且所述容器（2）的内部盛有液体（3），所述单模光纤（1）的底部配合有石英管（4），且所述石英管（4）完全浸泡在液体（3）中，所述石英管（4）内部充入氦气（5），所述容器（2）的底部且位于石英管（4）的正下方设置有反射膜（6），所述液体（3）与外界空气的接触面为液面A（7），所述液体（3）与石英管（4）内部的氦气（5）的接触面为液面B（8）；所述单模光纤（1）的底端端面与液面B（8）形成F-P气体腔；所述液面B（8）与容器（2）底部的反射膜（6）形成F-P液体腔；所述石英管（4）的内壁用激光刻蚀成圆台状；所述单模光纤（1）的上端面漏出于液体（3），且单模光纤（1）的上方设置有光源，则光源发出的光束在结构中的方向为从单模光纤（1）的上端面垂直射入，从反射膜（6）反射回腔体发生干涉。
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权利要求：
百度查询： 福伦瑞生科技(苏州)有限公司 超高灵敏度的光纤F-P腔压力传感结构
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