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申请/专利权人：江阴龙源石英制品有限公司
摘要：本发明公开了一种耐温石英坩埚，为掺杂处理的高纯石英砂经旋转塑模法电弧熔融制得，掺杂处理的原料高纯石英砂纯度为99.998％以上，掺杂元素包括钡和钽；以掺杂处理后的高纯石英砂总质量为100％计，钡的掺杂量为15～45ppm，钽的掺杂量为10～32ppm。该耐温石英坩埚的高纯石英砂同时掺杂15～45ppm的钡以及10～32ppm的钽，以掺杂处理的高纯石英砂为原料，经旋转塑模法电弧熔融制得的石英坩埚除具有良好的抗析晶性能外，还能提高石英坩埚材质的耐温点，在加热熔融坩埚内的复投硅原料时降低坩埚的变形量，利于延长石英坩埚的使用寿命，满足复投拉晶的生产要求。本发明还公开了一种耐温石英坩埚的生产方法。
主权项：1.一种耐温石英坩埚的生产方法，其特征在于，耐温石英坩埚为掺杂处理的高纯石英砂经旋转塑模法电弧熔融制得，掺杂处理的原料高纯石英砂纯度为99.998％以上，掺杂元素包括钡和钽；以掺杂处理后的高纯石英砂总质量为100％计，钡的掺杂量为15～45ppm，钽的掺杂量为10～32ppm；耐温石英坩埚的生产方法包括以下步骤：S1：取预定量的高纯石英砂，高纯石英砂与钽氧化物球磨混合造粒，得附着钽氧化物的石英砂粉体，将附着钽氧化物的石英砂粉体置于含钡化合物水溶液中，水热反应得复合粉体；S2：复合粉体升温煅烧处理，冷却得到煅烧粉体；S3：煅烧粉体与剩余的高纯石英砂混合，向混合石英砂施加钡盐溶液，烘干，得掺杂处理的高纯石英砂；S4：以掺杂处理的高纯石英砂为原料，采用旋转塑模法电弧熔制耐温石英坩埚。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江阴龙源石英制品有限公司 一种耐温石英坩埚及其生产方法
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