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申请/专利权人：北京智芯微电子科技有限公司;国网辽宁省电力有限公司电力科学研究院;国家电网有限公司

摘要：本公开涉及晶圆和芯片成品测试技术领域，具体涉及一种保护模块、测试装置、测试设备及测试方法。本公开提供了一种通用的高可靠测试装置，通过在测试装置中添加保护模块，进一步在保护模块中添加限流单元和连接单元，所述限流单元包括限流器件，用于防止电流突增导致所述测试装置和或所述被测器件损坏；所述连接单元至少包括一预设阻值的电阻，通过该电阻将所述测试机的感测线与所述被测器件连接，以使所述测试机通过所述感测线感测施加到所述被测器件的电压值，利用该电阻通过提高感测线的输入阻抗保证了得到的被测器件电压的准确性，提高了测试结果的准确性。

主权项：1.一种用于测试装置的保护模块，其特征在于，所述保护模块包括：第一电连接端、第二电连接端、限流单元和连接单元，其中，所述第一电连接端与测试机的驱动线连接，所述测试机用于对被测器件进行电学参数测试；所述第二电连接端与所述测试机的感测线连接；所述限流单元的输入端与所述第一电连接端连接，所述限流单元的输出端与所述连接单元的第一端子连接，所述连接单元的第二端子与所述第二电连接端连接，所述连接单元的第三端子与所述第一端子以及测试装置的接触部连接，当所述接触部与所述被测器件连接时，所述驱动线经由所述限流单元和所述连接单元向所述被测器件施加测试电压；所述限流单元包括限流器件，所述限流单元用于防止电流突增导致所述测试装置和或所述被测器件损坏；所述连接单元至少包括一预设阻值的电阻，所述电阻的一端与所述连接单元的第二端子连接，所述电阻的另一端与所述接触部连接，从而将所述测试机的感测线与所述被测器件连接，以使所述测试机通过所述感测线感测施加到所述被测器件的电压值；所述限流器件包括：第一限流器件、第二限流器件、第三限流器件中的任意一种或任意组合，其中：当所述限流单元包括所述第一限流器件、第二限流器件、第三限流器件中的任意一种限流器件时，所述限流器件的一端与所述限流单元的输入端连接，另一端与所述限流单元的输出端连接；当所述限流单元包括所述第一限流器件、第二限流器件、第三限流器件中的任意两种限流器件时，所述两种限流器件依次串联在所述限流单元的输入端和输出端之间；当所述限流单元包括所述第一限流器件、所述第二限流器件和所述第三限流器件时，所述第一限流器件、所述第二限流器件和所述第三限流器件依次串联在所述限流单元的输入端和输出端之间。

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