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申请/专利权人：华林科纳(江苏)半导体设备有限公司
摘要：本发明公开了一种半导体生产用自动湿法清洗装置，半导体生产设备技术领域，包括清洗机本体和设置在清洗机本体内存放半导体的半导体收纳框，所述半导体收纳框的一侧设有风干组件；所述风干组件包括镜像设置在半导体收纳框外侧的密封件；本发明中，通过特殊设计的密封件和出风框，实现了半导体表面的均匀风干，螺旋状气体流动增加了气体与半导体表面的接触，提高了风干效率，同时，气体流动产生的动力还能使存放半导体的半导体收纳框发生转动，进一步促进均匀风干，此外，当温度过高时，风干组件内机械结构的配合使用，自动调节出风量，以适应不同耐热性的半导体材料，确保彻底烘干并避免残留溶液影响下次清洗。
主权项：1.一种半导体生产用自动湿法清洗装置，包括清洗机本体（1）和设置在清洗机本体（1）内存放半导体的半导体收纳框（2），其特征在于，所述半导体收纳框（2）的一侧设有风干组件（300）；所述风干组件（300）包括对称设置在半导体收纳框（2）外侧的两个密封件（301），密封件（301）为半圆形，两个半圆形密封件（301）合拢构成一个密封闭合的环体结构，所述密封件（301）内壁设置有多个出风框（302），多个所述出风框（302）沿两个密封件（301）构成的环体结构的竖直轴螺旋向上间隔分布；所述出风框（302）上转动连接有至少三个导流板（303），所述出风框（302）上转动连接有与导流板（303）同轴设置的传动齿轮（304），所述传动齿轮（304）的一侧啮合连接有传动齿条（305）；所述传动齿条（305）的一侧连接有滑块（306），所述出风框（302）上连接有第一电磁铁（307），所述滑块（306）和第一电磁铁（307）之间连接有连接弹簧（309）；热敏电阻（308），连接在出风框（302）上，与第一电磁铁（307）电性连接。
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权利要求：
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