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申请/专利权人：合肥聚跃检测技术有限公司
摘要：本发明公开了一种芯片加工用蚀刻清洗装置，涉及芯片加工技术领域，包括用于储存清洗液的清洗箱体；清洗箱体中转动布设定位盘，定位盘与固定布设于清洗箱体外侧的驱动电机输出端固定，定位盘上呈周向阵列固定布设若干组定位板，各定位板末端均布设有用于承载芯片的承载板，承载板上开设用于嵌入芯片的承载槽；其中，承载板内开设腔体，承载槽的槽底均匀开设有若干组与腔体连通的喷孔，喷孔与腔体之间设有仅限于排液的单向阀，腔体与输液机构连接，以用于将清洗液输送至腔体中；喷孔喷出的清洗液一方面对芯片底面进行冲洗，另一方面可以推动芯片与槽底之间形成间隙，避免蚀刻液或杂质的残留影响芯片后续加工质量。
主权项：1.一种芯片加工用蚀刻清洗装置，包括用于储存清洗液的清洗箱体（1）；其特征在于，所述清洗箱体（1）中转动布设定位盘（201），定位盘（201）与固定布设于清洗箱体（1）外侧的驱动电机（2）输出端固定，定位盘（201）上呈周向阵列固定布设若干组定位板（202），各定位板（202）末端均布设有用于承载芯片的承载板（4），承载板（4）上开设用于嵌入芯片的承载槽（401），还布设有用于限制芯片脱离承载槽（401）的限位部；其中，所述承载板（4）内开设腔体（411），承载槽（401）的槽底均匀开设有若干组与腔体（411）连通的喷孔（403），腔体（411）与输液机构连接，以用于将清洗液输送至腔体（411）中；芯片在清洗的过程中，通过输液机构向腔体（411）中输送清洗液，最后经由喷孔（403）喷至承载槽（401）中，基于清洗液喷出的冲击力，将芯片朝向远离槽底的方向推离，推动芯片与槽底之间形成间隙。
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权利要求：
百度查询： 合肥聚跃检测技术有限公司 一种芯片加工用蚀刻清洗装置
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