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一种基于碳纳米管电子源的圆柱型电离真空计 

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申请/专利权人:兰州空间技术物理研究所

摘要:本申请涉及真空压力测量技术领域,具体而言,涉及一种基于碳纳米管电子源的圆柱型电离真空计,包括套筒壳体、碳纳米管电子源、外圆柱、内圆柱、离子收集极、偏转极以及电子收集极,套筒壳体为圆筒型,外圆柱设置在碳纳米管电子源的外侧,内圆柱设置在碳纳米管电子源的内侧,在外圆柱的内侧与内圆柱的外侧之间形成环形电子束运动区域;偏转极用于使电子束偏转进入内圆柱的内侧区域;离子收集极设置在外圆柱的外侧,用于离子的径向引出;电子收集极设置在内圆柱的内侧,用于收集电子。本申请通过控制电子轨迹和能量来提高测量的稳定性,通过抑制各种非线性机制的影响来提高测量的准确性。

主权项:1.一种基于碳纳米管电子源的圆柱型电离真空计,其特征在于,包括套筒壳体、碳纳米管电子源、外圆柱、内圆柱、离子收集极、偏转极以及电子收集极,其中:所述套筒壳体为圆筒型,用于屏蔽外界电场对真空测量的影响;所述碳纳米管电子源、所述外圆柱、所述内圆柱、所述离子收集极、所述偏转极以及所述电子收集极均设置在所述套筒壳体的内部;所述外圆柱设置在所述碳纳米管电子源的外侧,所述内圆柱设置在所述碳纳米管电子源的内侧,所述外圆柱与所述内圆柱同心设置,在所述外圆柱的内侧与所述内圆柱的外侧之间形成环形电子束运动区域;所述外圆柱的表面设置有栅孔,所述内圆柱沿轴向设置有开口槽;所述碳纳米管电子源位于所述环形电子束运动区域的第一端,用于发射电子束;所述偏转极位于所述环形电子束运动区域的第二端,设置在所述外圆柱与所述内圆柱之间,并靠近所述内圆柱的开口槽处,用于使电子束偏转进入所述内圆柱的内侧区域;所述离子收集极设置在所述外圆柱的外侧,用于离子的径向引出;所述电子收集极设置在所述内圆柱的内侧,用于收集经过所述偏转极偏转进入所述内圆柱内侧区域的电子。

全文数据:

权利要求:

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