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申请/专利权人：东南大学
摘要：本发明公开了一种多脉冲皮秒激光辅助KOH湿刻加工高深宽比玻璃通孔的方法，涉及集成电路三维封装技术领域。包括以下步骤：使用丙酮、异丙醇各对玻璃进行超声清洗；使用多个皮秒脉冲激光脉冲在预设玻璃通孔位置进行激光改性；将玻璃放入KOH溶液中湿刻到预设尺寸；将湿刻过后的玻璃放入去离子水中进行超声清洗；检查玻璃通孔的尺寸以及贯通性。本发明利用皮秒激光与KOH溶液结合，可以得到孔径大于等于5μm，深宽比小于等于50的高深宽比小孔径玻璃通孔。
主权项：1.一种多脉冲皮秒激光辅助KOH湿刻加工高深宽比玻璃通孔的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，以玻璃基板为基础材料，至少分别使用丙酮、异丙醇对所述玻璃基板进行超声清洗；步骤二，使用多个皮秒激光脉冲在预设玻璃通孔位置进行激光改性；步骤三，使用KOH溶液对所述玻璃基板进行湿法刻蚀，将通孔刻蚀到预设的尺寸；步骤四，在步骤三完成后，取出玻璃基板，使用去离子水对所述玻璃基板进行冲洗并吹干，再使用去离子水对通孔中的残渣进行超声清除；在步骤二中，皮秒激光的持续时间在6至16ps之间，其脉冲能量在30至140μJ之间，脉冲间隔为10至20ns，其偏振态为圆偏振，其光斑直径≤4μm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东南大学 一种多脉冲皮秒激光辅助KOH湿刻加工高深宽比玻璃通孔的方法
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