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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：描述了一种用具有三个或更多个阴极组件的阴极阵列涂覆基板的方法，所述阴极组件具有可旋转的对应的磁体组件。所述方法包括：在关断所述阴极阵列时，将所述基板移动到第一位置；在第一角扇区中以往复运动的方式移动所述磁体组件中的第一磁体组件时，在第一操作中涂覆在所述第一位置的所述基板；在将所述基板移动到第二位置之前，关断所述阴极阵列；在关断所述阴极阵列时，将所述基板移动到所述第二位置；在另一个角扇区中以往复运动的方式移动所述第一磁体组件时，涂覆在所述第二位置的所述基板。
主权项：1.一种用具有三个或更多个阴极组件100的阴极阵列涂覆基板10的方法，所述阴极组件具有可旋转的对应的磁体组件125，所述方法包括：在关断所述阴极阵列时，将所述基板10移动到第一位置；在第一角扇区112中以往复运动的方式移动所述磁体组件125中的第一磁体组件时，在第一操作中涂覆I在所述第一位置的所述基板10；在将所述基板移动到第二位置之前，关断所述阴极阵列；在关断所述阴极阵列时，将所述基板10移动到所述第二位置；在第三角扇区212中以往复运动的方式移动所述第一磁体组件125时，涂覆在所述第二位置的所述基板10。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 涂覆基板的方法、制造显示器的方法和涂覆基板的涂覆设备
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