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申请/专利权人：FOGALE纳米技术公司
摘要：本发明涉及一种用于测量包括多个界面的光学元件1000的界面103的形状的方法和设备1，该设备1包括：测量装置4000、6000、7000，其具有由低相干源402、612、712照射的至少一个干涉测量传感器，其配置为将测量光束106、606导向光学元件1000以穿过所述多个界面，并且选择性地检测由被所述待测界面103反射的测量光束106、606与参考光束616、716之间的干涉产生的干涉信号；定位装置608、611、708、711，其配置用于将干涉测量传感器的相干区域相对定位在待测界面的层面处；数字处理装置，其配置以基于干涉信号、根据视场108产生所述待测界面103的形状信息。
主权项：1.一种测量设备1，用于测量包括多个界面的光学元件1000的待测界面103的形状，所述设备1包括：-测量装置4000、6000、7000，其包括低相干源以及由所述低相干源402、612、712照射的至少一个干涉测量传感器，所述测量装置配置为将测量光束106、606导向所述光学元件1000以穿过所述多个界面，并且选择性地检测由被所述待测界面103反射的测量光束106、606与参考光束616、716之间的干涉产生的干涉信号；-定位装置608、611、708、711，其配置用于将所述干涉测量传感器的相干区域相对定位在所述待测界面的层面处；-数字处理装置，其配置以基于所述干涉信号、根据视场108产生所述待测界面103的形状信息，所述测量装置4000、6000、7000包括点模式干涉测量传感器4000和全场干涉测量传感器6000、7000。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FOGALE纳米技术公司 用于测量光学元件的界面的设备和方法
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