买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：深圳市优界科技有限公司

摘要：本发明公开了一种晶粒转移设备及其晶粒转移工艺，包括机台及架设在机台上的支架，还包括储料部分、中转搬移部分、转移平台及晶粒转移部分，支架为U型结构，将机台上部空间分隔为出料空间及回料空间，其底部与机台表面之间形成间隙空间；储料部分设置于机台侧部，储料部分包括出料储存部分及回料储存部分；转移平台位于间隙空间内；中转搬移部分包括出料搬移机构及回料搬移机构；晶粒转移部分包括载板承载机构及晶粒转移机构。本发明实现载板多级多层大容量存储，载板滑入式取放承载及自动旋转中转及同步负压吸附固定，有效提升载板搬移中转稳定性，实现了探针转移顶刺极限限位及辅助吸附蓝膜，保证了晶粒转移过程中晶粒位置准确度及稳定性。

主权项：1.一种晶粒转移设备，包括水平设置的机台（1）及架设在机台（1）上的支架（5），其特征在于：还包括储料部分、中转搬移部分、转移平台（4）及晶粒转移部分，其中，上述支架（5）为U型结构，其倒置架设在机台（1）中部，将机台（1）上部空间分隔为出料空间及回料空间，且其底部与机台（1）表面之间形成间隙空间；上述储料部分设置于机台（1）侧部，储料部分包括出料储存部分及回料储存部分，出料储存部分及回料储存部分分别对应设置于上述出料空间及回料空间一侧；上述转移平台（4）包括至少两个，至少两个转移平台（4）并列间隔设置在机台（1）上，并位于上述间隙空间内；上述中转搬移部分包括出料搬移机构及回料搬移机构，出料搬移机构及回料搬移机构分别设置于出料空间及回料空间内；上述晶粒转移部分（6）包括载板承载机构（62）及晶粒转移机构（63），其中，上述载板承载机构倒挂在支架（5）底部，并对应设置于转移平台（4）上方；上述晶粒转移机构（63）对应设置于载板承载机构（62）上方；所述出料储存部分及回料储存部分包括储料机构（2），储料机构（2）包括两套，两套储料机构（2）分别对应上述出料空间及回料空间设置于机台（1）的侧部；上述储料机构（2）包括储料直线模组（21）、储料滑座（22）及储料组件，其中，上述储料直线模组（21）竖直设置；上述储料滑座（22）沿竖直方向可活动地设置在储料直线模组（21）上，并与储料直线模组（21）的输出端连接；上述储料组件设置在储料滑座（22）上；所述储料组件包括储料支架（23）及储料箱（24），其中，上述储料支架（23）连接于上述储料滑座（22）的侧壁上，储料支架（23）上沿竖直方向设有至少两个储存空间，储存空间靠近机台（1）一侧为开放面；上述储料箱（24）包括至少两个，储料箱（24）对应设置于上述储存空间内，并经储存空间的开放面滑入或滑出；上述储料支架（23）包括至少两组限位阻挡组件，至少两组限位阻挡组件对应设置于各储存空间内，储料箱（24）在储存空间内滑动时经限位阻挡组件限位和阻挡；所述转移平台（4）包括平台支板（41）、平台滑轨（42）、平台滑座（43）、平台限位柱（44）、载板顶块（45）及平台吸孔（46），其中，上述平台支板（41）水平设置在机台（1）上；上述平台滑轨（42）水平设置在平台支板（41）上；上述平台滑座（43）可滑动地嵌设在平台滑轨（42）上，并经气缸或直线电机驱动而直线运动，平台滑座（43）上设有载座，载座上开设有通槽（E），通槽（E）上下贯通载座及平台滑座（43）；上述载座内布设有气路，并通过设置于其侧部的气嘴与外部真空发生装置连接；上述平台限位柱（44）包括至少两根，平台限位柱（44）沿通槽（E）侧边设置于载板上，并向上凸起，平台限位柱（44）之间形成限位空间，以便限位放置于载座上的载板；上述平台吸孔（46）包括至少两个，平台吸孔（46）设置于载座上，并位于通槽（E）内侧壁与平台限位柱（44）之间，并与载座内部气路连通，以便吸附固定载座上放置的载板；上述载板顶块（45）设置于载座上，凸起至载座上方，并通过弹簧与载座连接，以便晶粒转移完成后，利用弹簧弹力上顶载座。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市优界科技有限公司 一种晶粒转移设备及其晶粒转移工艺