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申请/专利权人：合肥维信诺科技有限公司;昆山国显光电有限公司
摘要：本申请涉及一种掩膜版组件及掩膜版组件的搬运方法。掩膜版组件包括掩膜版以及遮挡件，所述掩膜版包括蒸镀区以及围绕所述蒸镀区的边缘区。在所述边缘区中设置有多个镂空部，所述遮挡件贴附所述多个镂空部的至少一部分。本申请中，通过对掩膜版的边缘区设置多个镂空部，以及在边缘区设置遮挡件的方案，有利于在提高搬运效率的同时降低掩膜版发生褶皱的概率。
主权项：1.一种掩膜版组件，其特征在于，包括掩膜版以及遮挡件，所述掩膜版包括蒸镀区以及围绕所述蒸镀区的边缘区，在所述边缘区中设置有多个镂空部，所述遮挡件贴附所述多个镂空部的至少一部分；所述蒸镀区为矩形，在所述蒸镀区上设置有多个呈阵列排布开口区域，所述边缘区包括在所述蒸镀区的宽度方向上相对设置的第一侧部和第二侧部，以及在所述蒸镀区的长度方向上相对设置的第三侧部和第四侧部；所述遮挡件包括覆盖在所述第一侧部的第一部分、覆盖在所述第二侧部的第二部分、覆盖在所述第三侧部的第三部分以及覆盖在所述第四侧部的第四部分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥维信诺科技有限公司 昆山国显光电有限公司 掩膜版组件及掩膜版组件的搬运方法
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