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申请/专利权人：航天特种材料及工艺技术研究所
摘要：本发明提出一种基于碳吸收剂的耐高温吸波薄膜的制备方法，属于材料技术领域。通过化学气相沉积的方法，在碳吸收剂吸波薄膜上涂覆碳化硅涂层，使吸波薄膜具备耐高温抗氧化能力，实现小批量实验室级别的耐高温吸波薄膜的制备，得到的基于碳吸收剂的耐高温吸波薄膜具有良好的耐高温特性和便捷的介电可调性。
主权项：1.一种基于碳吸收剂的耐高温吸波薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1将由短切碳纤维和短切石英纤维组成的碳纤维基吸波薄膜置于高温烘箱中进行高温处理，之后转移至碳化硅化学气相沉积系统中，将该碳化硅化学气相沉积系统内的气体抽出；2选取一甲基三氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷中的一种或几种作为反应气体，然后将高纯氩气、氢气和该反应气体通入所述碳化硅化学气相沉积系统中，待所述碳化硅化学气相沉积系统中的混合气体的相对压力和流速达到稳定状态后，启动升温程序开始升温；3当所述碳化硅化学气相沉积系统升温到1000～1200℃后，保持1～10h，之后自然降温，再在碳纤维基吸波薄膜上涂覆碳化硅涂层，得到耐高温吸波薄膜。
全文数据：
权利要求：
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