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申请/专利权人：哈尔滨工业大学

摘要：本发明提出一种用于精密仪器隔振器的速度传感器标定系统及标定方法，系统包括激光测振仪、振动实验台、激励信号源、电机驱动器、数据采集卡以及上位机。振动实验台的致动器由音圈电机和压电陶瓷组成。致动器由激励信号源控制，受电机驱动器驱动出力推动负载平台振动。负载平台两端与气浮导轨相连，气浮导轨受气源供气，使负载平台能保持在竖直方向上无摩擦的单自由度振动。将速度传感器与负载平台连接，其输出接数据采集卡上并传回上位机。激光测振仪对负载平台进行测量，并作为标定基准与速度传感器测量结果进行比对。该系统将经过标定满足使用要求的传感器用于主动隔振器反馈环节，可极大增强隔振器的隔振效果，使隔振器能有效隔离外界微振动。

主权项：1.一种用于精密仪器隔振器的速度传感器标定系统的标定方法，其特征在于：所述系统包括：激光测振仪、振动实验台、激励信号源、电机驱动器，数据采集卡以及上位机；所述的激光测振仪在标定系统中作为振动测量的基准参考源，通过比较速度传感器与激光测振仪的测量结果来对速度传感器进行标定；该激光测振仪采用激光多普勒测振原理，能够感应物体的微振动，能够测量高精度和测量大带宽；在标定系统中所用的激光测振仪可与上位机通信，将测量数据实时传回至上位机中；所述的振动实验台在标定系统中作为振动源；该振动实验台的具体结构包括：负载平台、基座、气浮导轨，弹簧重力补偿器以及复合主动致动器；被标定速度传感器与振动试验台的负载平台部分相连接，且连接方式采用刚性连接；负载平台两端与气浮导轨连接，使负载平台沿竖直方向单自由度运动；弹簧重力补偿器连接负载平台和基座，用于对负载平台进行重力补偿；复合主动致动器由音圈电机和压电陶瓷串联组成；该振动试验台可受电流激励而产生振动，振动频率和幅值与电流频率和大小有关；所述的激励信号源作为控制振动实验台振动的激励信号，该激励信号源的信号频率和幅值是可控的；所述的电机驱动器将激励信号进行线性放大，用于驱动振动实验台的复合主动致动器进行出力；所述的数据采集卡用于采集速度传感器的电压信号，并进行模数转换，传回上位机；所述的上位机用于接收激光测振仪和数据采集卡传回的数据，并对数据进行显示、处理与比较；所述方法包括以下步骤：步骤一、给振动实验台的气浮导轨接通气源，确保负载平台沿竖直方向单自由度振动，且振动过程无摩擦；步骤二、确保激光测振仪与上位机，速度传感器与数据采集卡，数据采集卡与上位机的连接正常，给出从0.5Hz到100Hz的扫频激励信号，并经电机驱动器线性放大后驱动振动实验台的复合主动致动器对负载平台出力，推动负载平台进行给出频率下的振动；步骤三、使用激光测振仪和速度传感器同时对负载平台的振动进行测量，并将测量结果发送至上位机中；步骤四、将激光测振仪的测量结果作为标准，对比速度传感器测量结果与激光测振仪测量结果的一致性；对比内容包括：1.波形的一致性；2.测量结果的最大绝对误差；3.将两组测量结果做FFT，在频域下分析速度传感器的带宽参数。

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