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申请/专利权人：江苏微迈思半导体科技有限公司
摘要：本发明提供一种真空蒸镀用一体式蒸发源，属于真空蒸镀技术领域；包括开设有蒸发槽的蒸发舟，所述蒸发槽为长方形，所述蒸发槽的底部安装有相连接的固定柱和固定板，所述固定柱位于蒸发槽底部的中心位置，所述固定板的横截面为长方形且其长边与蒸发槽的长边平行，所述固定板关于固定柱的中心对称。本发明通过设置送丝槽，使金属液经第一引流斜面的引导后沿导流台四散至蒸发槽的底部，有效避免了引流结构内金属液聚集的情况，保障了金属液的有效利用，避免了送丝时温度低于蒸发槽内金属液的金属丝与高温金属液直接接触，保障了送丝操作的安全性，降低送丝对产品造成的危害。
主权项：1.一种真空蒸镀用一体式蒸发源，其特征在于，包括：开设有蒸发槽（2）的蒸发舟（1），所述蒸发槽（2）为长方形，所述蒸发槽（2）的底部安装有相连接的固定柱（3）和固定板（4），所述固定柱（3）位于蒸发槽（2）底部的中心位置，所述固定板（4）的横截面为长方形且其长边与蒸发槽（2）的长边平行，所述固定板（4）关于固定柱（3）的中心对称；所述固定柱（3）的顶部开设有与固定柱（3）同轴的送丝槽（5），所述固定柱（3）和固定板（4）上开设有贯穿固定柱（3）和固定板（4）以及送丝槽（5）的引流槽（6），所述引流槽（6）的宽度小于金属丝的直径，所述蒸发槽（2）的底部还安装有与固定板（4）两端分别连接的两个导流台（7），所述导流台（7）为半球形，且球形面位于顶部，所述送丝槽（5）为弧形槽，且固定板（4）所对应的球心高于固定柱（3）的顶部，所述引流槽（6）上对称开设有倾斜指向导流台（7）的第一引流斜面（8）。
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权利要求：
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