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申请/专利权人：迈为技术(珠海)有限公司

摘要：本发明公开一种用于晶圆切割设备的物镜除尘冷却装置及晶圆切割设备，涉及激光切割设备的技术领域，其中，物镜除尘冷却装置的吹气座设置有中通的吹气腔，吹气腔的腔壁上均布有多个第一吹气孔，第一吹气可通过外部气源向吹气腔内吹气，吹气座的一侧开设有连通吹气腔的排气缺口，排气缺口沿吹气腔的长度方向设置，以排出由第一吹气孔吹出的气体。该物镜除尘冷却装置通过将物镜及相关部件置于吹气座的吹气腔内，以使物镜及相关部件能够得到均匀冷却的同时，从而有效避免物镜积尘的情况，避免了对激光切割效率以及精度的影响。高温且伴随有粉尘的气体可从吹气座一侧所开设的排气缺口高效地排出吹气腔，也提高了物镜及相关部件的散热效果以及除尘效果。

主权项：1.一种用于晶圆切割设备的物镜除尘冷却装置，其特征在于，包括：吹气座10，设置有中通的吹气腔11，所述吹气腔11用于提供物镜30的容纳空间，所述吹气腔11的腔壁上均布有多个第一吹气孔111，所述第一吹气孔111背离所述吹气腔11的一端被配置为连接外部气源，可通过外部气源向所述吹气腔11内吹气；所述吹气座10的一侧开设有连通所述吹气腔11的排气缺口112，所述排气缺口112沿所述吹气腔11的长度方向设置，以排出由所述第一吹气孔111吹出的气体；支撑封板20，开设有中通的避位孔21，所述避位孔21与所述吹气腔11对应连通，用于提供供物镜30穿过的空间；所述避位孔21的孔沿处设置有第二吹气孔22，所述第二吹气孔22一端被配置为连接外部气源，所述第二吹气孔22的另一端朝所述避位孔21方向设置；所述支撑封板20内开设有气流通道23，所述气流通道23一端用于通过第二进气口231连接外部气源，所述气流通道23的另一端的端口开设于所述支撑封板20背离所述吹气座10的一侧部且相邻于所述避位孔21；所述支撑封板20位于设有所述气流通道23的端口的一侧设置有吹气盖板24，所述吹气盖板24远离所述避位孔21的一侧通过连接部241安装于所述支撑封板20，所述吹气盖板24的另一侧遮挡所述气流通道23的端口并与所述支撑封板20间隙配合，以使所述支撑封板20与所述吹气盖板24之间形成连通所述气流通道23的所述第二吹气孔22。

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百度查询： 迈为技术(珠海)有限公司 用于晶圆切割设备的物镜除尘冷却装置及晶圆切割设备