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申请/专利权人：旭化成株式会社
摘要：提供可得到高的耐化学药品性和分辨率、且在高温保存试验后能够抑制在Cu层的与树脂层接触的界面产生空隙的负型感光性树脂组合物、及使用其的固化浮雕图案的形成方法。提供一种负型感光性树脂组合物，其包含：A以下的通式1所示的聚酰亚胺前体；B包含选自氨基甲酸酯键和脲键中的至少1者的化合物；以及C光聚合引发剂。式1中，X1、Y1、n1、R1和R2分别在本申请说明书中被定义。
主权项：1.一种负型感光性树脂组合物，其包含：A下述通式1所示的聚酰亚胺前体；B包含选自氨基甲酸酯键和脲键中的至少1者的化合物；以及C光聚合引发剂，所述B化合物具有甲基丙烯酸基，甲基丙烯酸基当量为150～330gmol， 式1中，X1为4价的有机基团，Y1为2价的有机基团，n1为2～150的整数，并且R1和R2各自独立地为氢原子或1价的有机基团，R1和R2中的至少一者为下述通式2所示的1价的有机基团， 式2中，L1、L2和L3各自独立地为氢原子或碳数1～3的有机基团，并且m1为2～10的整数，所述B化合物具有下述通式3所示的结构， 式3中，R3为氢原子或甲基，A为选自由-O-、-NH-和-NL4-组成的组中的一种基团，L4为碳数1～12的1价的有机基团，Z1为碳数2～24的m2价的有机基团，Z2为碳数2～8的2价的有机基团，并且m2为1～3的整数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 旭化成株式会社 负型感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺及固化浮雕图案的制造方法
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