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申请/专利权人:布鲁克纳米公司
摘要:一种用于计量仪器的扭转探针包括通过扭杆耦合到支撑结构的悬臂。悬臂、支撑结构及扭杆的臂具有基本相同的厚度。
主权项:1.一种扭转翼探针组件,其特征在于,包括:底座;以及从所述底座延伸的探针,其中所述探针,包括:支撑结构;悬臂,其具有相对的第一自由端及第二自由端,所述第一自由端支撑尖端;以及扭杆,其包括垂直于所述悬臂的纵轴延伸的共线的一对扭力臂,所述一对扭力臂将所述悬臂耦合到所述支撑结构,其中所述支撑结构、所述悬臂及所述扭杆的厚度相同,其中所述支撑结构的刚度至少比所述扭力臂的刚度大10倍。
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