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申请/专利权人：深圳市辉睿达科技有限公司

摘要：本发明公开了一种半导体及泛半导体基板运输转向装置，包括底箱，所述转动轴顶端固定连接有支撑板，所述支撑板顶部两侧均通过支撑架固定连接有传动板，所述传动板底部中间位置固定连接有升降装置，所述传动板顶部正面和背面均固定连接有隔板，所述隔板相互靠近的一侧中间位置设置有复数个传动辊，所述传动板顶部位于传动辊之间固定连接有电动伸缩杆，所述升降装置远离传动板的一端转动连接有升降板，所述升降板底部位于电动伸缩杆对应位置固定连接有紧固装置，本发明涉及半导体及泛半导体技术领域。使得该装置可以有效的对基板进行紧固，避免其在转运过程中发生表面磨损，并避免发生碰撞，保护基板安全，保证加工质量。

主权项：1.一种半导体及泛半导体基板运输转向装置，包括底箱（1），其特征在于：所述底箱（1）内腔底部中间位置转动连接有转动轴（2），所述转动轴（2）外表面位于底箱（1）内腔靠近顶部的位置固定连接有从动轮（3），所述底箱（1）内腔底部位于转动轴（2）左侧固定连接有连接杆（4），所述连接杆（4）靠近转动轴（2）的一侧固定连接有散热扇（5），所述底箱（1）内腔底部位于转动轴（2）右侧固定连接有驱动电机（6），所述驱动电机（6）输出端固定连接有驱动杆（7），所述驱动杆（7）远离驱动电机（6）的一端通过传动连杆（8）与从动轮（3）转动连接，所述转动轴（2）顶端固定连接有支撑板（9），所述支撑板（9）远离转动轴（2）的一侧中间对称位置固定连接有支架（10），所述支撑板（9）顶部位于支架（10）左侧固定连接有传动电机（11），所述传动电机（11）输出端固定连接有第一主动带轮（12），所述支撑板（9）顶部两侧均通过支撑架固定连接有传动板（13），所述传动板（13）底部中间位置固定连接有升降装置（14），所述传动板（13）顶部正面和背面均固定连接有隔板（15），所述隔板（15）相互靠近的一侧中间位置设置有复数个传动辊（16），所述传动板（13）顶部位于传动辊（16）之间固定连接有电动伸缩杆（17），所述升降装置（14）远离传动板（13）的一端转动连接有升降板（18），所述升降板（18）底部位于电动伸缩杆（17）对应位置固定连接有紧固装置（19）；所述散热扇（5）包括散热扇箱（51），所述散热扇箱（51）内腔两侧外壁均开设有百叶扇（52），所述散热扇箱（51）内腔靠近连接杆（4）的一侧固定连接有散热电机（53），所述散热电机（53）输出端通过联轴器固定连接有散热转轴（54），所述散热转轴（54）远离散热电机（53）的一端固定连接有散热扇叶（55）；所述升降装置（14）包括升降电机（141），所述升降电机（141）输出端通过联轴器固定连接有蜗杆（142），所述蜗杆（142）外表面啮合传动有蜗轮（143），所述蜗轮（143）内表面螺纹连接有升降螺杆（144）；所述蜗杆（142）远离升降电机（141）的一端与支架（10）转动连接，所述蜗轮（143）顶部与传动板（13）转动连接，所述升降螺杆（144）贯穿传动板（13）并延伸至传动板（13）顶部；所述紧固装置（19）包括紧固箱（191），所述紧固箱（191）一侧内壁顶部固定连接有紧固电机（192），所述紧固电机（192）输出端通过联轴器固定连接有第二主动带轮（193），所述紧固箱（191）内腔远离紧固电机（192）的一侧内壁滑动连接有直齿条（194），所述直齿条（194）外表面远离紧固箱（191）的一侧啮合传动有啮合齿轮（195），所述第二主动带轮（193）外表面通过皮带与啮合齿轮（195）滑动连接。

全文数据：一种半导体及泛半导体基板运输转向装置技术领域[0001]本发明涉及半导体及泛半导体技术领域，具体为一种半导体及泛半导体基板运输转向装置。背景技术[0002]随着近年来我国半导体行业的蓬勃发展，项目企业依托当地得天独厚的条件开发优势资源，深挖潜力提升项目产品的生产技术水平，本次半导体晶圆与液晶建厂材料、设备、施工产业项目将充分发挥技术领先优势与人才优势，通过企业技术改造提升技术水平，购置先进的技术装备，采用规模化生产经营，半导体晶圆与液晶建厂材料、设备、施半导体及泛半导体自动化搬运设备，自动化设备可以根据客户生产需要，为类似于半导体基板、玻璃、太阳能板等生产加工处理生产线，提供从基板的进料、工序间运输及搬运。现有的半导体及泛半导体加工处理中，基板在运输过程中需要进行转角转运，其没有相应的保护固定机构，使得其在调整过程中容易发生偏移或滑落，使得表面产生损坏或运输中发生碰撞，难以保证加工质量。发明内容[0003]一解决的技术问题针对现有技术的不足，本发明提供了一种半导体及泛半导体基板运输转向装置，解决了现有的半导体及泛半导体加工处理中，基板在运输过程中需要进行转角转运，其没有相应的保护固定机构，使得其在调整过程中容易发生偏移或滑落，使得表面产生损坏或运输中发生碰撞，难以保证加工质量的问题。[0004]二技术方案为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现:一种半导体及泛半导体基板运输转向装置，包括底箱，所述底箱内腔底部中间位置转动连接有转动轴，所述转动轴外表面位于底箱内腔靠近顶部的位置固定连接有从动轮，所述底箱内腔底部位于转动轴左侧固定连接有连接杆，所述连接杆靠近转动轴的一侧固定连接有散热扇，所述底箱内腔底部位于转动轴右侧固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出端固定连接有驱动杆，所述驱动杆远离驱动电机的一端通过传动连杆与从动轮转动连接，所述转动轴顶端固定连接有支撑板，所述支撑板远离转动轴的一侧中间对称位置固定连接有支架，所述支撑板顶部位于支架左侧固定连接有传动电机，所述传动电机输出端固定连接有主动带轮，所述支撑板顶部两侧均通过支撑架固定连接有传动板，所述传动板底部中间位置固定连接有升降装置，所述传动板顶部正面和背面均固定连接有隔板，所述隔板相互靠近的一侧中间位置设置有复数个传动辊，所述传动板顶部位于传动辊之间固定连接有电动伸缩杆，所述升降装置远离传动板的一端转动连接有升降板，所述升降板底部位于电动伸缩杆对应位置固定连接有紧固装置。[0005]优选的，所述散热扇包括散热扇箱，所述散热扇箱内腔两侧外壁均开设有百叶扇，所述散热扇箱内腔靠近连接杆的一侧固定连接有散热电机，所述忒热电机™出_通过联袖器固定i接有散热转轴，所述散热转轴远离散热电机的一端固定连接有散热扇叶。、[0006]优选的，所述升降装置包括升降电机，所述升降电机输出端通过联轴器固定连接有蜗杆，所述蜗杆外表面啮合传动有蜗轮，所述蜗轮内表面螺纹连接有升降螺杆。[0007]优选的，所述蜗杆远离升降电机的一端与支架转动连接，所述蜗轮顶部与传动板转动连接，所述升降螺杆贯穿传动板并延伸至传动板顶部。[0008]优选的，所述紧固装置包括紧固箱，所述紧固箱一侧内壁顶部固定连^有紧固电机，所述紧固电机输出端通过联轴器固定连接有主动带轮，所述紧固箱内腔远离紧固电机的一侧内壁滑动连接有直齿条，所述直齿条外表面远离紧固箱的一侧啮合传动有啮合齿轮，所述主动带轮外表面通过皮带与啮合齿轮滑动连接。[0009]优选的，所述传动棍靠近正面的一端固定连接有链轮，所述链轮外表面通过链条相互啮合传动。_[0010]优选的，所述传动辊位于隔板左侧且位于链轮正面固定连接有从动带轮，所述从动带轮外表面通过传动皮带与主动带轮滑动连接。[0011]优选的，所述底箱两侧外壁中间位置均开设有网窗，所述底箱正面和背面底部均固定连接有安装轨。[0012]优选的，所述隔板相互靠近的一侧顶部固定连接有保护垫，所述支撑板表面位于升降装置对应位置开设有贯穿通孔。[0013]优选的，所述转动轴贯穿底箱并延伸至底箱顶部，所述支撑板底部位于转动轴两侧均固定连接有支撑轨道轮。[0014]三有益效果本发明提供了一种半导体及泛半导体基板运输转向装置，具备以下有益效果：本发明，通过支撑板顶部两侧均通过支撑架固定连接有传动板，传动板底部中间位置固定连接有升降装置，传动板顶部正面和背面均固定连接有隔板，隔板相互靠近的一侧中间位置设置有复数个传动辊，传动板顶部位于传动辊之间固定连接有电动伸缩杆，升降装置远离传动板的一端转动连接有升降板，升降板底部位于电动伸缩杆对应位置固定连接有紧固装置，使得该装置可以有效的对基板进行紧固，避免其在转运过程中发生表面磨损，并避免发生碰撞，保护基板安全，保证加工质量。附图说明[0015]图1为本发明整体结构示意图；图2为本发明散热扇结构示意图；图3为本发明紧固装置结构示意图。[0016]图中：1_底箱、2-转动轴、3_从动轮、4-连接杆、5-散热扇、51-散热扇箱、52-百叶扇、53-散热电机、54_散热转轴、55-散热扇叶、6-驱动电机、7-驱动杆、8-传动连杆、9-支撑板、10-支架、11-传动电机、12_主动带轮、13-传动板、14-升降装置、141-升降电机、142-蜗杆、143-蜗轮、144-升降螺杆、15-隔板、I6-传动辊、I7-电动伸缩杆、is—升降板、19_紧固装置、191-紧固箱、192-紧固电机、193-主动带轮、194-直齿条、195-啮合齿轮、20-链轮、21-链条、22-从动带轮、23-网窗、24-安装轨、25-保护垫、26-贯穿通孔、27-支撑轨道轮。具体实施方式[0017]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。[0018]请参阅图1-3,本发明提供一种技术方案:一种半导体及泛半导体基板运输转向装置，包括底箱1，底箱1内腔底部中间位置转动连接有转动轴2,转动轴2外表面位于底箱1内腔靠近顶部的位置固定连接有从动轮3,底箱1内腔底部位于转动轴2左侧固定连接有连接杆4,连接杆4靠近转动轴2的一侧固定连接有散热扇5,散热扇5包括散热扇箱51，散热扇箱51内腔两侧外壁均开设有百叶扇52,散热扇箱51内腔靠近连接杆4的一侧固定连接有散热电机53,散热电机53输出端通过联轴器固定连接有散热转轴54,散热转轴54远离散热电机53的一端固定连接有散热扇叶55,底箱1内腔底部位于转动轴2右侧固定连接有驱动电机6，驱动电机6输出端固定连接有驱动杆7,驱动杆7远离驱动电机6的一端通过传动连杆8与从动轮3转动连接，转动轴2顶端固定连接有支撑板9，支撑板9远离转动轴2的一侧中间对称位置固定连接有支架10,支撑板9顶部位于支架10左侧固定连接有传动电机11，传动电机11输出端固定连接有主动带轮12,支撑板9顶部两侧均通过支撑架固定连接有传动板13,传动板13底部中间位置固定连接有升降装置14,升降装置14包括升降电机141，升降电机141输出端通过联轴器固定连接有蜗杆142,蜗杆142外表面啮合传动有蜗轮143,蜗轮143内表面螺纹连接有升降螺杆144,蜗杆142远离升降电机141的一端与支架10转动连接，蜗轮143顶部与传动板13转动连接，升降螺杆144贯穿传动板13并延伸至传动板13顶部，传动板13顶部正面和背面均固定连接有隔板15,隔板15相互靠近的一侧中间位置设置有复数个传动辊16，传动板13顶部位于传动辊16之间固定连接有电动伸缩杆17,升降装置14远离传动板13的一端转动连接有升降板18,升降板18底部位于电动伸缩杆17对应位置固定连接有紧固装置19,紧固装置19包括紧固箱191，紧固箱191一侧内壁顶部固定连接有紧固电机192,紧固电机192输出端通过联轴器固定连接有主动带轮193,紧固箱191内腔远离紧固电机192的一侧内壁滑动连接有直齿条194,直齿条194外表面远离紧固箱191的一侧啮合传动有啮合齿轮195,主动带轮193外表面通过皮带与啮合齿轮195滑动连接，传动辊16靠近正面的一端固定连接有链轮20,链轮20外表面通过链条21相互啮合传动，传动辊16位于隔板15左侧且位于链轮20正面固定连接有从动带轮22,从动带轮22外表面通过传动皮带与主动带轮12滑动连接，底箱1两侧外壁中间位置均开设有网窗23,底箱1正面和背面底部均固定连接有安装轨24,隔板15相互靠近的一侧顶部固定连接有保护垫25,支撑板9表面位于升降装置14对应位置开设有贯穿通孔26,转动轴2贯穿底箱1并延伸至底箱1顶部，支撑板9底部位于转动轴2两侧均固定连接有支撑轨道轮27。使得该装置可以有效的对基板进行紧固，避免其在转运过程中发生表面磨损，并避免发生碰撞，保护基板安全，保证加工质量。[0019]使用时，基板运输至传动辊16上，启动电动伸缩杆17将基板顶起，之后启动升降电机141使得蜗杆142和蜗轮143相互啮合，并使得升降螺杆144带动升降板18垂直运动，进行位置调节，启动紧固电机192使得主动带轮193通过皮带带动啮合齿轮195转动，使得直齿条194垂直运动对基板进行紧固，之后启动驱动电机6使得驱动杆7带动传动连杆8运动，使得从动轮3带动转动轴2转动，进行角度的调节，之后松开紧固装置19和电动伸缩杆17，^^动电机11使得主动带轮12带动从动带轮22转动，使得链轮20通过链条21进行传动，彳曰^板进行运输，进行后续加工。9a[0020]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一^^实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。[0021]尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

权利要求：1.一种半导体及泛半导体基板运输转向装置，包括底箱（1，其特征在于:所述底箱（1内腔底部中间位置转动连接有转动轴2，所述转动轴2外表面位于底箱（1内腔靠近顶部的位置固定连接有从动轮3，所述底箱（1内腔底部位于转动轴2左侧固定连接有连接杆⑷，所述连接杆⑷靠近转动轴⑵的一侧固定连接有散热扇⑸，所述底箱⑴内腔底部位于转动轴2右侧固定连接有驱动电机6，所述驱动电机6输出端固定连接有驱动杆7，所述驱动杆7远离驱动电机6的一端通过传动连杆8与从动轮3转动连接，所述转动轴2顶端固定连接有支撑板9，所述支撑板9远离转动轴2的一侧中间对称位置固定连接有支架（10，所述支撑板9顶部位于支架10左侧固定连接有传动电机11，所述传动电机（11输出端固定连接有主动带轮（12，所述支撑板9顶部两侧均通过支撑架固定连接有传动板13，所述传动板（13底部中间位置固定连接有升降装置（14，所述传动板（13顶部正面和背面均固定连接有隔板（15，所述隔板（15相互靠近的一侧中间位置设置有复数个传动辊16，所述传动板13顶部位于传动辊16之间固定连接有电动伸缩杆（17，所述升降装置（14远离传动板（13的一端转动连接有升降板（18，所述升降板18底部位于电动伸缩杆17对应位置固定连接有紧固装置（19。2.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板运输转向装置，其特征在于:所述散热扇5包括散热扇箱51，所述散热扇箱51内腔两侧外壁均开设有百叶扇52，所述散热扇箱51内腔靠近连接杆4的一侧固定连接有散热电机53，所述散热电机53输出端通过联轴器固定连接有散热转轴54，所述散热转轴54远离散热电机53的一端固定连接有散热扇叶55。3.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板运输转向装置，其特征在于:所述升降装置14包括升降电机141，所述升降电机141输出端通过联轴器固定连接有蜗杆142，所述蜗杆（142外表面啮合传动有蜗轮（143，所述蜗轮（143内表面螺纹连接有升降螺杆144。4.根据权利要求3所述的一种半导体及泛半导体基板运输转向装置，其特征在于:所述蜗杆（142远离升降电机（141的一端与支架（10转动连接，所述蜗轮（143顶部与传动板13转动连接，所述升降螺杆（144贯穿传动板13并延伸至传动板13顶部。5.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板运输转向装置，其特征在于:所述紧固装置（19包括紧固箱（191，所述紧固箱（191一侧内壁顶部固定连接有紧固电机192，所述紧固电机（I92输出端通过联轴器固定连接有主动带轮（I93，所述紧固箱191内腔远离紧固电机192的一侧内壁滑动连接有直齿条194，所述直齿条194外表面远离紧固箱（191的一侧啮合传动有啮合齿轮（195，所述主动带轮19¾外表面通过皮带与嗤合齿轮195滑动连接。6.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板运输转向装置，其特征在于:所述传动辊16靠近正面的一端固定连接有链轮20，所述链轮20外表面通过链条21相互啮合传动。7.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板运输转向装置，其特征在于:所述传动辊16位于隔板（15左侧且位于链轮20正面固定连接有从动带轮22，所述从动带轮22外表面通过传动皮带与主动带轮12滑动连接。8.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板运输转向装置，其特征在于:所述底箱（1两侧外壁中间位置均开设有网窗（23，所述底箱（1正面和背面底部均固足连揆有安装轨24。9.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板运输转向装置，其特征在于:所述隔板I5相互罪近的一侧顶部固定连接有保护垫25，所述支撑板9表面位于升降装置14对应位置开设有贯穿通孔26。10.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板运输转向装置，其特征在于:所述转动轴2贯穿底箱（1并延伸至底箱（1顶部，所述支撑板9底部位于转动轴两侧均固定连接有支撑轨道轮27。

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