买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：无锡量子感知研究所

摘要：本发明提供了一种扫描电子显微镜的样品仓，其减少整体的抽真空时间且能达到样品仓高真空度要求，提高电镜工作效率同时保证整体电镜的可靠性。安装壳体的朝向样品舱门的端面设置有安装开口、内置有安装腔，所述安装腔的底部两边位置设置有直线导向机构，所述直线导向机构具体包括靠近安装开口的直线轴承、远离安装开口的导向直线柱腔，所述样品舱门的底部对应于所述直线导向机构的位置处固装有侧凸的直线导轨，对应的直线导轨插装于所述直线轴承内、并且末端固装有止挡环，所述止挡环置于所述导向直线柱腔内，所述安装腔的底部设置有水平移动支撑轨道，四轴移动平台支承于支撑托的上部内腔，所述支撑托的外端固装端固接于所述样品舱门的内壁。

主权项：1.一种扫描电子显微镜的样品仓，其特征在于：其包括安装壳体、样品舱门，所述安装壳体的朝向所述样品舱门的端面设置有安装开口、内置有安装腔，所述安装腔的底部两边位置设置有直线导向机构，所述直线导向机构具体包括靠近安装开口的直线轴承、远离安装开口的导向直线柱腔，所述样品舱门的底部对应于所述直线导向机构的位置处固装有侧凸的直线导轨，对应的直线导轨插装于所述直线轴承内、并且末端固装有止挡环，所述止挡环置于所述导向直线柱腔内，所述安装腔的底部设置有水平移动支撑轨道，四轴移动平台支承于支撑托的上部内腔，所述支撑托的外端固装端固接于所述样品舱门的内壁，所述支撑托的至少一部分支承于所述水平移动支撑轨道、并直线方向滑动布置，所述四轴移动平台的顶部设置有置物平台，所述安装开口的内周壁上设置有仿形布置的O型圈，样品舱门关闭状态下的内壁对应位置紧贴所述O型圈；所述安装壳体的顶部设置有镜筒安装孔、底部设置有分子泵连接孔，所述安装壳体的侧壁上还设置有若干安装孔，每个安装孔在未使用状态下盖装有对应的盖板，使用时能外接常用的各种传感器；所述安装壳体的安装开口的朝向所述样品舱门的顶部的一侧位置设置有定位套筒，所述样品舱门的朝向所述安装开口的定位套筒的位置处设置有外凸的定位销，样品仓关闭状态下所述定位销插装于所述定位套筒的内孔内；所述四轴移动平台，其包括X、Y、Z、R四轴，其步进电机置于真空环境中，减少样品仓的漏点，增加仓真空可靠性，所述四轴移动平台的步进电机使用对应材料制成，电机表面蚀刻并镀类金刚石薄膜，传动摩擦零件的表面全部镀二硫化钼。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡量子感知研究所 一种扫描电子显微镜的样品仓