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申请/专利权人：日本碍子株式会社
摘要：本发明提供热电偶引导件及陶瓷加热器。本发明的课题是减小热电偶通路的入口部分的宽度。本发明的热电偶引导件32具备：直线管部33；以及弯曲管部34，其与直线管部33相连，以对直线管部33的朝向进行转换的方式设置。弯曲管部34中的包含前端34e在内的预定的前端侧部分34a的截面的外形形状是将圆的两侧直线状地切掉而成的形状。
主权项：1.一种陶瓷加热器，具备：具有晶片载置面的圆盘状的陶瓷板，与所述陶瓷板中的与所述晶片载置面相反侧的背面接合的筒状轴，埋设于所述陶瓷板的内周部的内周侧电阻发热体，埋设于所述陶瓷板的外周部的外周侧电阻发热体，包括所述内周侧电阻发热体的一对端子及所述外周侧电阻发热体的一对端子的附带部件，从所述陶瓷板的所述背面中的所述筒状轴的内侧区域的起点到达所述陶瓷板的外周部的末端位置为止的长孔，作为所述长孔的入口部分的长槽，热电偶引导件，以及插入到所述热电偶引导件和所述长孔中的热电偶，所述热电偶引导件，具备：直线管部；以及弯曲管部，其与所述直线管部相连，以对所述直线管部的朝向进行转换的方式设置，所述弯曲管部中的包含前端在内的预定的前端侧部分的截面的外形形状是将圆的两侧直线状地切掉而成的形状，所述热电偶引导件的所述弯曲管部的所述前端侧部分被配置在所述长槽中，所述长槽的水平方向的长度设定为与所述弯曲管部的所述前端侧部分的水平方向的长度相同，所述长槽的宽度设定为与所述弯曲管部的所述前端侧部分的宽度相同的程度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日本碍子株式会社 热电偶引导件及陶瓷加热器
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