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申请/专利权人：上海稷以科技有限公司

摘要：本发明提出了一种晶舟双级联动传输系统及方法，该系统包括：上部线轨，包括第一滑块和第一导轨，第一滑块可沿着第一导轨移动。第一导轨与固定底座的底面固定，第一滑块与滑动底板的上表面固定；下部线轨，包括第二滑块和第二导轨，第二滑块与机械手固定，第二导轨固定于滑动底板的底面；滑动底板，其上表面安装驱动系统和第二同步带轮；高温同步带，安装于驱动系统的第一同步带轮、第二同步带轮；传动齿条与基座的底面通过螺栓固定安装；驱动系统包括：伺服电机、第一同步带轮和第一齿轮，第二齿轮和第三齿轮。本发明可实现机械手的双级联通，提高了机械的传输效率。

主权项：1.一种晶舟双级联动传输系统，其特征在于，包括：上部线轨（1），包括第一滑块和第一导轨，第一滑块可沿着第一导轨移动；第一导轨与固定底座（5）的底面固定，第一滑块与滑动底板（2）的上表面固定；下部线轨（3），包括第二滑块和第二导轨，第二滑块可沿着第二导轨移动，第二滑块与机械手（7）固定，第二导轨固定于滑动底板（2）的底面；滑动底板（2），其上安装驱动系统（4）和第二同步带轮（12）；高温同步带（8），安装于驱动系统（4）的第一同步带轮（4-4）、第二同步带轮（12）；高温同步带（8）的上层带和机械手（7）的连接板（7-1）通过皮带连接件（13）连接；传动齿条（6）与固定底座（5）的底面通过螺栓固定安装；所述驱动系统（4）包括：伺服电机（4-1），固定于滑动底板（2），其输出轴通过联轴器（4-2）连接主动轴，主动轴转动设置于机架，机架固定于滑动底板（2）；机架上还转动安装从动轴；第一同步带轮（4-4）和第一齿轮（4-6），均安装于主动轴；其中，第一同步带轮（4-4）、第一齿轮（4-6）与主动轴之间均键连接；第二齿轮（4-5）和第三齿轮（4-3），均安装于从动轴；所述机械手（7）包括：旋转电机（7-10），固定于隔热外壳（7-3）的内壁；旋转盘（7-20）和滚轮（7-22），旋转盘（7-20）安装于旋转电机（7-10）的轴端，摆臂销（7-23）偏心布置在旋转盘（7-20）上，其一端与旋转盘（7-20）通过螺纹连接，另一端安装有滚轮（7-22），其滚轮（7-22）与摆臂（7-8）的滑动槽（7-18）配合；所述摆臂（7-8），其上段与隔热外壳（7-3）通过悬臂销（7-25）同轴安装，且摆臂（7-8）可绕悬臂销（7-25）旋转。

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