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申请/专利权人：苏州托玛斯机器人集团有限公司

摘要：本发明公开了一种具有自主导航与避障功能的搬运机器人，其涉及晶圆搬运技术领域，包括移载车体，内部安装有多个避障感应器；机械臂，固定在移载车体的上端面，且机械臂多个关节组成，每个关节均包括臂杆一、驱动电机和臂杆二，其中，驱动电机固定在臂杆一上，其输出轴采用连接柱与臂杆二固定连接，且臂杆一和臂杆二之间转动设置；缓冲组件，被配置为多个，均安装在关节内；搬运组件，固定在机械臂上，用于对晶圆或箱体进行搬运；本发明通过调节电机能够控制折叠组件，从而使承载组件进行折叠或展开，便于对晶圆和箱体进行对应搬运，并且在搬运时能够通过避障感应器进行导航和避障，提高了搬运的智能化程度。

主权项：1.一种具有自主导航与避障功能的搬运机器人，其特征在于，包括：移载车体（1），内部安装有多个避障感应器；机械臂（2），固定在所述移载车体（1）的上端面，且所述机械臂（2）多个关节组成，每个所述关节均包括臂杆一（21）、驱动电机（22）和臂杆二（23），其中，所述驱动电机（22）固定在臂杆一（21）上，所述驱动电机（22）的输出轴采用连接柱（24）与臂杆二（23）固定连接，且所述臂杆一（21）和臂杆二（23）之间转动设置；缓冲组件（3），被配置为多个，均安装在所述关节内；且所述缓冲组件（3）包括补液口（31）、顶盘和底盘（32），其中，所述顶盘和所述底盘（32）固定在所述臂杆一（21）内，所述补液口（31）连通固定在所述顶盘侧壁，且其一端延伸出所述臂杆一（21），所述顶盘包括外环体（33）和内环体（34），所述外环体（33）和所述内环体（34）之间设置有储液仓，所述储液仓内填充有缓冲液，所述内环体（34）的外壁对称固定有两个缓冲块（35），所述缓冲块（35）内开设有缓冲孔，所述内环体（34）的外壁还对称固定有两个固定块（36），所述固定块（36）内滑动设置有导向柱（37），所述导向柱（37）靠近所述缓冲块（35）的一端固定有磁性柱（38），所述磁性柱（38）的一端固定有控制阀体（39），用于对缓冲孔进行调节控制，所述控制阀体（39）和所述固定块（36）之间设置有预紧弹簧，且所述固定块（36）靠近磁性柱（38）的一侧固定有环形电磁铁；搬运组件（4），固定在所述机械臂（2）上，用于对晶圆（5）或箱体（6）进行搬运。

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