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申请/专利权人：瑶光半导体(浙江)有限公司

摘要：本发明公开了一种激光退火设备的气体保护装置及激光退火设备，涉及半导体设备领域。该装置包括：基座，所述基座包括第一竖直通孔；气流匀化件，盖设在所述基座上端，所述气流匀化件包括第二竖直通孔，还包括与外部的进气管路连通的第一进气通道，以及均围绕所述第二竖直通孔，且从上往下依次设置的第一进气通孔、第一空腔、第二进气通孔，第一竖直通孔与第二竖直通孔同轴设置且彼此连通以供激光束从上往下穿过，第二进气通孔的下端均与第一竖直通孔的上端连通。该装置的气流可以围绕激光束从第一竖直通孔的顶部向下吹，与保护气体目标流向相一致，与目前普遍采用的从侧部水平吹的方式相比不容易形成紊流，有效增加了气流分布的均匀性。

主权项：1.一种激光退火设备的气体保护装置，其特征在于，包括：基座，所述基座包括贯穿所述基座上下表面的第一竖直通孔；气流匀化件，盖设在所述基座上端，所述气流匀化件包括贯穿所述气流匀化件上下表面的第二竖直通孔，还包括与外部的进气管路连通的第一进气通道，以及均围绕所述第二竖直通孔，且从上往下依次设置的第一进气通孔、第一空腔、第二进气通孔，所述第一进气通孔包括多个且均沿着所述第二竖直通孔的周向排列，所述第二进气通孔包括多个且均沿着所述第二竖直通孔的周向排列；其中，所述第一进气通道的下端与所述第一进气通孔的上端连通，所述第一空腔的上端与所述第一进气通孔下端连通，所述第一空腔的下端与所述第二进气通孔的上端连通，所述第一竖直通孔与所述第二竖直通孔同轴设置且彼此连通以供激光束从上往下穿过，与所述第二竖直通孔下端位于同一水平面的所述第一竖直通孔的横截面积大于所述第二竖直通孔下端的横截面积，所述第二进气通孔的下端均与所述第一竖直通孔的上端连通；所述气流匀化件包括上盖，以及第一嵌入件、第二嵌入件，所述第二竖直通孔贯穿所述上盖的上下表面，所述第一嵌入件从所述上盖的下端嵌入所述上盖，所述第二嵌入件从所述第一嵌入件的下端嵌入所述第一嵌入件，在所述第二竖直通孔周围的所述上盖下表面向内凹陷形成第一凹槽，所述第一凹槽的中央位置围绕所述第二竖直通孔且与所述第二竖直通孔的通孔壁间隔预设距离向内凹陷形成第二凹槽，当所述第一嵌入件嵌入所述第一凹槽时，所述第一嵌入件的上表面与所述第一凹槽的下底面抵接，并且所述第二凹槽在所述第一嵌入件的配合下围合成所述第一进气通道，所述第一嵌入件在中央的位置设有第三竖直通孔，所述第三竖直通孔贯通所述第一嵌入件的上下表面，在所述第三竖直通孔的孔壁周围的所述第一嵌入件下表面向内凹陷形成第五凹槽，所述第五凹槽的中央位置围绕所述第三竖直通孔且与所述第三竖直通孔的通孔壁间隔预定距离向内凹陷形成所述第一空腔。

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