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申请/专利权人：迈为技术(珠海)有限公司

摘要：本发明公开一种巨量转移设备的对位方法及对位系统，对位系统设置有上对位相机、下对位相机以及用于校准的标定件，对位方法中包括确定机械原点、确定激光振镜坐标、加工对位以及校准上对位相机和下对位相机等步骤，在进行晶圆片工件的对位时，下对位相机直接从下向上拍摄到晶圆片工件的下表面，下对位相机可以直接靠近晶圆片工件的下表面以进行聚焦，且拍摄时上载台不会对下对位相机造成干涉，因此无需考虑扩大上载台的尺寸以及中空度以容纳对位相机的伸入的问题，另外，本方案的对位方法中，在工作一定时长或者一定工作量后，能够自动对上对位相机和下对位相机进行校准，以保证晶圆片工件和基板工件对位的精确度。

主权项：1.一种巨量转移设备的对位方法，其特征在于，基于对位系统实现，所述对位系统安装于巨量转移设备中，所述巨量转移设备包括机台以及设置于所述机台上的下运动系、上运动系和支撑横梁，所述下运动系包括下载台，所述上运动系包括上载台；所述对位系统包括：上对位相机，安装于所述支撑横梁且位于所述上载台之上，用于定位装夹于所述下载台上的基板工件；下对位相机，安装于所述下运动系，用于定位装夹于所述上载台底侧的晶圆片工件；标定件，安装于所述上运动系，用于校准所述上对位相机和所述下对位相机的坐标系；所述标定件包括安装块和透明标定块，所述安装块安装于所述上运动系，所述安装块具有通光孔，所述透明标定块安装于所述安装块并对准所述通光孔，所述透明标定块上设有校正标记点；对位方法包括步骤：确定机械原点：设备初启动时，将下对位相机的视野中心、上对位相机的视野中心以及标定件上的校正标记点对准重合，记录此时上运动系和下运动系的位置为机械原点；确定激光振镜坐标：以所述上运动系和所述下运动系的位置在所述机械原点时，所述上对位相机的视野中心为上相机坐标系的原点，所述下对位相机的视野中心作为下相机坐标系的原点，并分别确定激光振镜在所述上相机坐标系和所述下相机坐标系中的坐标；其中，在所述下运动系上设置第一标记片，再启动所述激光振镜在所述第一标记片上打出第一标记点；随后驱动下运动系，使所述第一标记点与所述上对位相机的视野中心重合，记录下运动系移动的距离，进而计算出激光振镜在上相机坐标系中的坐标；在所述上运动系上设置第二标记片，再启动所述激光振镜在所述第二标记片上打出第二标记点；随后驱动上运动系，使所述第二标记点与所述下对位相机的视野中心重合，记录上运动系移动的距离，进而计算出激光振镜在下相机坐标系中的坐标；加工对位：利用所述上对位相机寻找下载台上的基板工件上的第一定位标记点，利用所述下对位相机寻找上载台上的晶圆片工件上的第二定位标记点，确定好第一定位标记点和第二定位标记点的位置后，根据激光振镜的坐标调整上载台和下载台的位置，使所述激光振镜、所述第一定位标记点以及所述第二定位标记点在z轴重合；其中，分别确定所述第一定位标记点和所述第二定位标记点的坐标后，驱动所述下运动系使所述激光振镜与所述第一定位标记点对准，所述下运动系的移动距离基于所述第一定位标记点的坐标、所述激光振镜在上相机坐标系中的坐标及上对位相机的偏移量三者计算确定；驱动所述上运动系使所述激光振镜与所述第二定位标记点对准，所述上运动系的移动距离基于所述第二定位标记点的坐标、所述激光振镜在下相机坐标系中的坐标及下对位相机的偏移量三者计算确定；校准上对位相机和下对位相机：设备工作时长或完成工作量达到设定值后，驱动所述上运动系和所述下运动系回到机械原点，分别记录所述上对位相机和所述下对位相机的视野中心与所述标定件上的校正标记点的相对位置，计算所述上对位相机的偏移量以及所述下对位相机的偏移量，将该偏移量补偿至控制系统，再继续进行加工对位、加工作业。

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