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申请/专利权人：LPKF激光电子股份公司
摘要：本发明涉及用于制造玻璃反应容器的方法以及通过该方法可获得的玻璃反应容器。所述方法具有如下步骤：1.将可透过第一玻璃板的波长的激光束照射到第一玻璃板的表面，2.蚀刻第一玻璃板以形成在第一玻璃板的整个厚度上延伸的凹槽，3.将第二板与第一玻璃板的表面连接。
主权项：1.用于制造大量玻璃反应容器的方法，所述玻璃反应容器作为第一玻璃板1中的凹槽2形成，所述方法具有以下步骤：i.将可透过第一玻璃板1的波长的激光脉冲照射到第一玻璃板1的第一表面4的位点，在所述位点处应各自产生一个作为反应容器的凹槽2，其中激光束以恰好一个反应容器的直径加上反应容器之间的壁的厚度的距离呈点状地照射在第一表面4的平面中，ii.在没有抗蚀剂涂层的情况下，蚀刻所述第一玻璃板1的持续时间足以沿所述位点产生凹槽2，其中进行所述蚀刻直到形成具有在所述第一玻璃板1的整个厚度上延伸的深度的凹槽2，和将由玻璃组成的第二板6与所述第一玻璃板1的与所述第一表面4相对的第二表面5连接，其中所述连接通过如下方式进行：通过阳极键合，或者仅通过将所述第一玻璃板1靠在所述第二板6上然后加热。
全文数据：
权利要求：
百度查询： LPKF激光电子股份公司 两部分式玻璃反应容器、制造方法和分析方法
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