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申请/专利权人：富士电机株式会社
摘要：本发明提供一种电阻元件及其制造方法。该电阻元件能够防止电极与电阻层之间的短路。电阻元件包括：半导体基板1；第1绝缘膜2，其设于半导体基板上；电阻层3a，其选择性地设于第1绝缘膜上；第1辅助膜3b，其自电阻层分开；第2辅助膜3c，其在与第1辅助膜不同的方向上自电阻层分开；第2绝缘膜4，其以覆盖电阻层和所述第1辅助膜及所述第2辅助膜的方式设于第1绝缘膜上；第1电极5a，其与电阻层连接，配置于第2绝缘膜的位于第1辅助膜的上方的部分上；以及第2电极5b，其与第1电极分开地与电阻层连接，配置于第2绝缘膜的位于第2辅助膜的上方的部分上。
主权项：1.一种电阻元件，其特征在于，该电阻元件具备：半导体基板；第1绝缘膜，其设于所述半导体基板上；电阻层，其选择性地设于所述第1绝缘膜上；第1辅助膜，其自所述电阻层分开；第2辅助膜，其在与所述第1辅助膜不同的方向上自所述电阻层分开；第2绝缘膜，其以覆盖所述电阻层和所述第1辅助膜及所述第2辅助膜的方式设于所述第1绝缘膜上；第1电极，其与所述电阻层连接，配置于所述第2绝缘膜的位于所述第1辅助膜的上方的部分上，所述第1电极和所述第1辅助膜彼此绝缘；以及第2电极，其与所述第1电极分开地与所述电阻层连接，配置于所述第2绝缘膜的位于所述第2辅助膜的上方的部分上，所述第2电极和所述第2辅助膜彼此绝缘。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 富士电机株式会社 电阻元件及其制造方法
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