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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明属于磁记录靶材领域，具体公开了一种CoFeB合金靶材及其制备方法。本发明所述CoFeB合金靶材，包括如下质量百分含量的元素组分：钴元素15‑35％，铁元素50‑60％，硼元素15‑30％。本发明在制备CoFeB合金靶材时，采用氮化硼涂层和钼纸作为间隔层，能有效降低CoFeB合金靶材中的C含量，并通过调节加压烧结的条件进而调控靶材内部的晶粒尺寸、靶材致密度以及透磁率，使最终制得的CoFeB合金靶材内部晶粒尺寸均匀，有较高的透磁率，C和O含量极低，组分准确、均匀。
主权项：1.一种CoFeB合金靶材的制备方法，其特征在于，所述CoFeB合金靶材包括如下质量百分含量的元素组分：钴元素15-35%，铁元素50-60%，硼元素15-30%；所述CoFeB合金靶材的制备方法包括如下步骤：（1）配料：按所述CoFeB合金靶材中的元素组分及含量称取钴金属、铁金属和晶体硼进行配料，且称取所述晶体硼时，应当在所述CoFeB合金靶材中硼元素质量百分含量的基础上增加0.4-0.8%的晶体硼，得到混合物料；（2）熔炼：在惰性气体氛围下，将所述混合物料进行熔炼，将熔炼后的熔体降温至1350-1450℃，得到合金熔体；（3）雾化：将所述合金熔体进行雾化，将雾化后得到的粉体过筛，得到合金粉；（4）热压烧结：在模具内部依次喷涂氮化硼、覆盖钼纸，再将所述合金粉置于模具的钼纸之上进行预压；在真空条件下，将预压后的合金粉进行热压烧结，得到所述CoFeB合金靶材；所述热压烧结具体为：先以8-10℃min的升温速率升温至800-1300℃，保温20-40min，然后加压至烧结压力30-40Mpa，烧结80-140min。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种CoFeB合金靶材及其制备方法
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