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一种微波等离子体控制系统 

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申请/专利权人:成都沃特塞恩电子技术有限公司

摘要:本发明实施例提出一种微波等离子体控制系统,包括均与主控装置通信连接的气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置;主控装置用于根据目标参数和采集的气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置的工作数据,向气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置分别发送对应的控制指令;气路控制装置用于根据控制指令控制气体开关和气体流量控制,并根据其工作状态实时调整气体流量配比;真空压力控制装置用于根据控制指令控制腔内真空状态、样品台位置、墙板位置和腔盖开关;水路控制装置用于根据控制指令控制样品台温度和水流量。其能够保证籽晶表面均匀沉积,并提高生产效率。

主权项:1.一种微波等离子体控制系统,其特征在于,包括主控装置、气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置,所述主控装置与所述气路控制装置、所述真空压力控制装置和所述水路控制装置均通信连接;所述主控装置用于根据目标参数和采集的所述气路控制装置、所述真空压力控制装置和所述水路控制装置的工作数据,向所述气路控制装置、所述真空压力控制装置和所述水路控制装置分别发送对应的控制指令;所述气路控制装置用于根据所述控制指令控制气体开关和气体流量控制,并根据其工作状态实时调整气体流量配比;所述真空压力控制装置用于根据所述控制指令控制腔内真空状态、样品台位置、墙板位置和腔盖开关;所述水路控制装置用于根据所述控制指令控制所述样品台温度和水流量;在清洗过程中,以400SCCM的量通断氢气预设次数,之后将氢气设置为800SCCM保持5分钟,最后将氢气设定为400SCCM。

全文数据:

权利要求:

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