买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：博海新能源(合肥)有限公司

摘要：本发明涉及扩散炉配件技术领域，具体为一种太阳电池制造用扩散炉喷淋进气管，包括扩散炉以及活动连接在扩散炉左端的炉门，所述扩散炉的右端中部固定有驱动电机；所述扩散炉内部设置有进气组件，进气组件包括对称分布在扩散炉内的进气管，且进气管的外部固定有与进气管外部弧面吻合的固定板。本申请所设计的进气管内气体混合结构，以及通过驱动组件与气体混合结构传动连接，利用驱动电机驱动进气管内扩散炉内部转动实现对扩散炉内放置的硅片表面各个位置进行气体喷射，保证气体喷射均匀，提高硅片扩散效果，同时进一步对气体混合结构传动，对进入进气管内的两种气体进行充分的混合，保证两种气体混合均匀，提高后续产品加工质量。

主权项：1.一种太阳电池制造用扩散炉喷淋进气管，包括扩散炉（1）以及活动连接在扩散炉（1）左端的炉门（13），其特征在于：所述扩散炉（1）的右端中部固定有驱动电机（2）；所述扩散炉（1）内部设置有进气组件，进气组件包括对称分布在扩散炉（1）内的进气管（3），且进气管（3）的外部固定有与进气管（3）外部弧面吻合的固定板（4），所述进气管（3）内置气体混合结构，且进气管（3）和固定板（4）的两端设置有驱动组件；所述扩散炉（1）的外部与两个驱动组件对应位置分别固定连接有进气接头一（11）与进气接头二（12）；进气接头一（11）与进气接头二（12）用于外接外部两种气体供给设备，对进气管（3）内部输送；所述驱动电机（2）与驱动组件传动连接，用于通过驱动组件控制进气管（3）在扩散炉（1）内一百八十度旋转对内部放置的硅片气体扩散，同时驱动组件对进气管（3）两端的进入气体进行混合；所述驱动组件包括固定于扩散炉（1）内壁的U型滑轨（45），且U型滑轨（45）的内部滑动连接有转动环（43），所述转动环（43）内开设有气腔（47），所述气腔（47）和U型滑轨（45）均开设有进气孔（46），且进气孔（46）与进气接头一（11）连通，所述U型滑轨（45）与转动环（43）之间密封处理；所述扩散炉（1）内壁靠近U型滑轨（45）的位置固定有内齿环一（41），且内齿环一（41）的内部啮合连接有齿轮一（42），所述齿轮一（42）的一侧固定有连接轴（44），且连接轴（44）贯穿气腔（47）延伸至进气管（3）内，所述进气管（3）与转动环（43）固定连接，且气腔（47）与进气管（3）连通；所述气体混合结构包括进气管（3）内转动连接有传动杆（31），所述传动杆（31）的两端与驱动组件中的连接轴（44）固定，所述传动杆（31）的外部靠近进气管（3）两端位置固定连接有混合叶片（32），所述进气管（3）的外部下侧等距离开设有喷气孔（33）；所述进气管（3）右侧驱动组件中与U型滑轨（45）转动连接有转动盘（48），且转动盘（48）的内部开设有环形结构的气腔（47），所述驱动电机（2）输出轴贯穿扩散炉（1）延伸至扩散炉（1）内与转动盘（48）中部固定连接，所述固定板（4）的两端分别与转动盘（48）和转动环（43）固定；所述驱动组件包括对称固定于扩散炉（1）内的两个U型滑轨（45），以及分别与U型滑轨（45）转动连接的转动环（43）和气体混合板（53），分别与气体混合板（53）和转动环（43）固定的固定板（4）和进气管（3）；其中所述气体混合板（53）内开设有搅拌腔（56），所述进气管（3）的右端与搅拌腔（56）连通，且进气管（3）的外部下侧等距离开设有喷气孔（33）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 博海新能源(合肥)有限公司 一种太阳电池制造用扩散炉喷淋进气管