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申请/专利权人:苏州新维度微纳科技有限公司
摘要:本发明公开了一种纳米压印模具及纳米压印的方法,通过采用具有孔洞的硬质基板结合覆盖孔洞的软质基板,形成若干独立腔室,根据压印中气泡产生位置,通过改变注入独立腔室内的气体量,进行局部或全面的压力调节,进而排出气泡,提高压印精度。同时,通过对不同独立腔室设置不同气压,适应不同衬底或不同软模板的形貌,并通过调节局部压力差,解决纳米压印中残胶不均一的问题,以及能兼容曲面压印。
主权项:1.一种纳米压印模具,其特征在于,包括:硬质基板,具有第一表面,所述硬质基板上形成有厚度方向贯穿设置的若干第一孔洞和若干第二孔洞;软质基板,具有弹性形变能力,所述软质基板设置在所述硬质基板的第一表面上且覆盖所述若干第一孔洞,所述软质基板将所述若干第一孔洞划分为若干独立腔室,所述软质基板上形成有厚度方向贯穿设置的若干第三孔洞,每个所述第二孔洞对应一个所述第三孔洞设置;所述软质基板上覆盖每个所述第一孔洞的部分能独立的根据对应的所述第一孔洞内的气压凸伸出所述硬质基板的第一表面或收缩回所述第一孔洞内,且所述软质基板凸伸或收缩的形变量能根据所述气压大小调节;其中,所述硬质基板和所述软质基板能通过所述第二孔洞以及第三孔洞吸附一用于纳米压印的软模板。
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