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申请/专利权人：杭州众能光电科技有限公司
摘要：本发明涉及退火设备技术领域，提供了一种气氛退火设备及控制方法，包括：在控制器中预设光指标差值阈值X；控制器获取光指标检测部件中各检测模块测得的待退火薄膜不同区域的光指标，比较各区域光指标的大小，并找到最大光指标及最大光指标对应的区域，用最大光指标与其它光指标作差，分别得到其它区域与最大光指标对应区域的光指标差值；如果其它区域中任一区域与最大光指标对应区域的光指标差值小于等于光指标差值阈值X,则控制器不发出调整信号；如果其它区域中任一区域与最大光指标对应区域的光指标差值大于光指标差值阈值X,则控制器发出调整信号。本申请解决了现有技术中薄膜退火工艺中存在的结晶均匀性较差的技术问题。
主权项：1.一种气氛退火设备，其特征在于，包括：退火腔室，所述退火腔室包括上腔体和下腔体，所述上腔体和所述下腔体之间形成的空间用于容纳待退火薄膜；承载板，所述承载板位于所述下腔体形成的空间内，用于承载所述待退火薄膜；加热装置，所述加热装置用于加热所述待退火薄膜；气体装置，所述气体装置用于进气及排气；检测装置，所述检测装置包括温度检测部件和光指标检测部件；所述光指标检测部件包括多个光指标检测模块，分别用于检测所述待退火薄膜的多个区域的光指标；控制器，所述控制器用于接收所述检测装置的信息并控制所述加热装置及所述气体装置；在所述控制器中预设光指标差值阈值X；控制器获取所述光指标检测部件中各检测模块测得的所述待退火薄膜不同区域的光指标，比较各区域光指标的大小，并找到最大光指标及最大光指标对应的区域，用最大光指标与其它光指标作差，分别得到其它区域与最大光指标对应区域的光指标差值；如果其它区域中任一区域与最大光指标对应区域的光指标差值小于等于所述光指标差值阈值X,则所述控制器不发出调整信号；如果其它区域中任一区域与最大光指标对应区域的光指标差值大于所述光指标差值阈值X,则所述控制器发出控制信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州众能光电科技有限公司 一种气氛退火设备及控制方法
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