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申请/专利权人：苏州智程半导体科技股份有限公司

摘要：本发明涉及超声清洗设备技术领域，且公开了一种内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备，包括减速升降组件，所述减速升降组件的内部设有驱动齿轮，所述驱动齿轮的外壁啮合连接有减速齿轮，所述减速齿轮的外壁啮合连接有内齿盘。该内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备，驱动齿轮通过减速齿轮带动内齿盘转动，避免清洗花篮升降和转动过程中速度过快，导致其损坏，此时内齿盘带动涡轴转动，进一步使得偏心盘带动升降板上下往复运动，此时支撑卡板顶部的清洗花篮也可以上下往复运动，此时驱动锥轮带动从动锥轮转动，进一步使得清洗花篮上下运动的过程中转动，从而达到了便于提高清洗均匀性避免超声波发生装置一侧的晶圆清洗较差的效果。

主权项：1.一种内置有晶圆姿态调整机构的超声清洗设备，包括减速升降组件（8），其特征在于：所述减速升降组件（8）的内部设有驱动齿轮（801），所述驱动齿轮（801）的外壁啮合连接有减速齿轮（802），所述减速齿轮（802）的外壁啮合连接有内齿盘（803），所述内齿盘（803）的外壁啮合连接有涡轴（804），所述涡轴（804）的侧壁固定连接有驱动盘（805），所述驱动盘（805）的侧壁传动连接有传动盘（806），所述传动盘（806）远离驱动盘（805）的一侧传动连接有从动盘（807），所述从动盘（807）通过转轴固定连接有偏心盘（808），所述从动盘（807）的转轴传动连接有传动带（809），所述传动带（809）远离从动盘（807）的一侧与驱动锥轮（810）的转轴传动连接；还包括调速组件（9），所述调速组件（9）的内部设有调节盘（91），所述调节盘（91）的顶部固定连接有丝杆（92），所述丝杆（92）的外壁啮合连接有滑动块（93），所述滑动块（93）两侧的内部滑动连接有固定导杆（94）；还包括壳体（1），所述壳体（1）内部的顶部设有清洗腔（2），所述清洗腔（2）的内部设有支撑卡板（3），所述支撑卡板（3）的底部通过滑杆固定连接有升降板（4），所述升降板（4）的底部固定连接有侧凸杆（5），所述侧凸杆（5）底部的外壁滑动连接有空心柱（6），所述空心柱（6）的外壁固定连接有从动锥轮（7），所述壳体（1）的内部设有减速升降组件（8），所述壳体（1）的内部设有调速组件（9）；所述驱动齿轮（801）的背部与驱动电机的驱动轴固定连接，且所述驱动齿轮（801）通过三个减速齿轮（802）与内齿盘（803）啮合连接，且所述减速齿轮（802）的直径大于驱动齿轮（801）的直径。

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