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申请/专利权人：江苏亚电科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种喷头喷射角度可调的单片晶圆清洗装置，包括支撑台，支撑台外侧设置有驱动机构，还包括清洗机构，清洗机构位于支撑台上方。有益效果：通过固定组件上多个吸盘对晶圆实现吸附固定，减少了硬夹持力对其晶圆表面造成一定的损伤，再通过对清洗组件内喷头喷射角度的调节，进而与晶圆表面形成一定的夹角，进而对表面上的杂质能够更好的清洗，再通过冲刷组件内设置的扰流块将冲洗后的水进行聚集，当喷头与聚集后的水相互碰撞时使其污水产生一定的涡流，涡流形成后在晶圆转动的过程中再次形成反流对晶圆表面再次进行冲刷，提高了晶圆清洗的质量，加大了清洗的力度。
主权项：1.一种喷头喷射角度可调的单片晶圆清洗装置，包括支撑台（1），所述支撑台（1）外侧设置有驱动机构（3），其特征在于：还包括清洗机构（2），所述清洗机构（2）位于所述支撑台（1）上方；所述清洗机构（2）包括用于对晶圆表面进行清洗的清洗组件、用于对晶圆进行固定的固定组件；所述清洗组件包括两侧移动地设置在所述支撑台（1）上方的滑动架（21），所述滑动架（21）下方转动安装有喷头（23），所述喷头（23）呈向下倾斜方向设置，所述支撑台（1）内部底端转动安装有工作盘（26），所述工作盘（26）上方设置有冲刷组件，所述冲刷组件用于对晶圆表面进行深层次的清洗，加强清洗的力度；所述冲刷组件包括滑动安装在所述工作盘（26）上方两侧的扰流块（28），所述扰流块（28）与所述支撑台（1）之间均设置有第二气缸（29），所述扰流块（28）呈斜面设置，所述斜面上开设有多个过滤孔，所述扰流块（28）由橡胶材质制成。
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权利要求：
百度查询： 江苏亚电科技股份有限公司 一种喷头喷射角度可调的单片晶圆清洗装置
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