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申请/专利权人：汉洁环境工程(武汉)有限公司

摘要：本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，且公开了一种用于半导体制造设备的升降开盖机构，包括底座和电动液压升降推杆。该用于半导体制造设备的升降开盖机构，通过设置卡接组件，由转动轴、第二锥齿轮和第一锥齿轮的配合使用下，使得两个夹持板相背移动与限位座脱离夹持连接，此时再通过伺服电机、圆盘和圆轴的配合使用下，使得两个连接杆拉动上下两个卡接板带动上下两个卡接轴相对移动，直至两个卡接轴均移动至卡接框的内部，然后向左拉动电动液压升降推杆带动卡接框从凹槽中脱离，完成便于对升降开盖装置进行拆卸维护的目的，无需工作人员手持螺丝刀对螺栓进行一一拆卸，提高了装置的实用性，便于工作人员使用。

主权项：1.一种用于半导体制造设备的升降开盖机构，包括底座1和电动液压升降推杆5，其特征在于：所述底座1的顶部设置有制造罐2，所述电动液压升降推杆5位于制造罐2的左侧，所述制造罐2的顶部设置有罐盖3，所述罐盖3的顶部设置有限位座4，所述电动液压升降推杆5的右侧壁设置有一端延伸至制造罐2内部并与其内壁卡接的卡接组件6，所述电动液压升降推杆5的输出端设置有固定横板7，所述固定横板7的右侧壁设置有与限位座4外部连接的夹持组件8；所述卡接组件6包括卡接框61，所述电动液压升降推杆5的右侧壁设置一端延伸至制造罐2内部的卡接框61，所述卡接框61的内壁后侧设置有伺服电机62，所述伺服电机62的输出轴处设置有圆盘63，所述圆盘63的前侧壁设置有数量为两个且呈上下对称分布的圆轴64，所述卡接框61的内壁左右两侧之间设置有数量为两个且呈上下对称分布的卡接板65，两个所述圆轴64的外部均设置有连接杆67，两个所述连接杆67的相背侧分别与两个卡接板65的相对侧连接，两个所述卡接板65的相背侧均设置有卡接轴66，两个所述卡接轴66的相背侧均与制造罐2的内壁连接；所述夹持组件8包括连接框81，所述固定横板7的右侧壁设置有连接框81，所述连接框81的内壁前后两侧之间设置有螺纹杆82，所述螺纹杆82的外部设置有第一锥齿轮83，所述螺纹杆82的外部设置有数量为两个且分别位于第一锥齿轮83前后两侧的夹持板84，两个所述夹持板84的右侧壁均延伸至连接框81的右侧，两个所述夹持板84的相对侧均与限位座4的外壁紧密贴合，所述连接框81的顶部设置有一端延伸至其内部的转动轴85，所述转动轴85的底部设置有与第一锥齿轮83外部啮合的第二锥齿轮86。

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