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申请/专利权人：厦门通富微电子有限公司
摘要：本公开实施例提供一种湿制程系统用药液分离装置及湿制程系统，该装置包括第一药液存储槽、第二药液存储槽、工艺腔室、加热器、第一过滤件和至少一个第一隔板；第一药液存储槽通过第一药液输出管道与第二药液存储槽相连通，第二药液存储槽设置有加热器；第二药液存储槽通过第二药液输出管道与工艺腔室相连通，第二药液输出管道串设有第一过滤件；工艺腔室通过药液注入管道与第一药液存储槽相连通；第一药液存储槽内设置有至少一个第一隔板，以在第一隔板与第一药液存储槽的侧壁之间形成第一溢流通道。第一溢流通道可以为药液的流动进行导流，加长药液流动行程，提高反应生成物的沉积效果，更好的实现在药液与反应生成物的分离。
主权项：1.一种湿制程系统用药液分离装置，其特征在于，包括第一药液存储槽、第二药液存储槽、工艺腔室、加热器、第一过滤件和至少一个第一隔板；所述第一药液存储槽通过第一药液输出管道与所述第二药液存储槽相连通，所述第二药液存储槽设置有所述加热器；所述第二药液存储槽通过第二药液输出管道与所述工艺腔室相连通，所述第二药液输出管道串设有所述第一过滤件；所述工艺腔室通过药液注入管道与所述第一药液存储槽相连通；其中，所述第一药液存储槽内设置有所述至少一个第一隔板，以在所述第一隔板与所述第一药液存储槽的侧壁之间形成第一溢流通道。
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权利要求：
百度查询： 厦门通富微电子有限公司 湿制程系统用药液分离装置及湿制程系统
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