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一种光电子能谱仪系统 

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申请/专利权人:长三角先进材料研究院

摘要:本实用新型公开了一种光电子能谱仪系统,包括磁屏蔽分析腔室、电子能量分析器、激发光源、低温样品台,磁屏蔽分析腔室内设有分析腔室的低温屏蔽层;电子能量分析器与磁屏蔽分析腔室及分析腔室的低温屏蔽层连接,在电子能量分析器的入口处设有分析器的低温屏蔽层;激发光源设置在分析腔室的低温屏蔽层内;低温样品台包括低温插杆、两层以上屏蔽层、接地装置,其中一层屏蔽层与分析腔室的低温屏蔽层配合。本实用新型的低温样品台中多层屏蔽层的设计,增加了腔体低温屏蔽层和分析器低温屏蔽层,结合低温样品台低温屏蔽层,可以使得样品获得更低温度,进行更低样品的测量。

主权项:1.一种光电子能谱仪系统,其特征在于,包括:磁屏蔽分析腔室3,所述磁屏蔽分析腔室3内设有分析腔室的第一低温屏蔽层9;以及电子能量分析器1,所述电子能量分析器1与磁屏蔽分析腔室3连接,在电子能量分析器1的入口处设有第二低温屏蔽层10;以及激发光源2,所述激发光源2与在磁屏蔽分析腔室3连接;以及低温样品台4,所述低温样品台4包括低温插杆4e、两层以上屏蔽层、接地装置4n,其中一层屏蔽层与第一低温屏蔽层9配合。

全文数据:

权利要求:

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