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申请/专利权人：南京华东电子真空材料有限公司
摘要：本实用新型属于气体纯化领域，具体的说是一种吸气剂泵组成的两级惰性气体纯化器，包括下真空电极法兰；所述下真空电极法兰顶端固定安装有多级纯化组件，所述多级纯化组件包括第一吸气剂泵、真空管道、第二吸气剂泵和上真空电极法兰，所述下真空电极法兰顶端与第一吸气剂泵底端固定连接，所述第一吸气剂泵外侧底部与进气口法兰外侧固定连接，所述第一吸气剂泵顶端与真空管道一端部固定连接，本实用新型通过多级纯化组件的结构设计，便于工作人员对气体进行多重纯化处理，降低了气体纯化过程受到温度的限位而造成效率过低的现象，同时，也能够降低纯化装置所占用的空间体积，其结构简单，便于工作人员后期对纯化装置进行检修处理。
主权项：1.一种吸气剂泵组成的两级惰性气体纯化器，其特征在于：包括下真空电极法兰（1）；所述下真空电极法兰（1）顶端固定安装有多级纯化组件（2），所述多级纯化组件（2）包括第一吸气剂泵（201）、真空管道（203）、第二吸气剂泵（204）和上真空电极法兰（205）；所述真空管道（203）外侧固定安装有限位保护组件（3），所述限位保护组件（3）包括卡环（301）、限位环（302）、弹簧阻尼器（303）和保护罩（304）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京华东电子真空材料有限公司 一种吸气剂泵组成的两级惰性气体纯化器
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