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申请/专利权人：中科同帜半导体(江苏)有限公司;北京中科同志科技股份有限公司
摘要：本实用新型涉及压力烧结技术领域，一种正压真空压力烧结炉，包括热压烧结炉、第一正向插板阀、第一反向插板阀、第二正向插板阀、第三正向插板阀、多个密封板、预热区和第一冷却区；预热区的进口端通过密封板设置有第一正向插板阀，预热区的出口端通过密封板设置有第一反向插板阀，热压烧结炉的进口端通过密封板设置有第一反向插板阀，热压烧结炉的出口端通过密封板设置有第二正向插板阀，第一冷却区的进口端通过密封板设置有第二正向插板阀，第一冷却区的出口端通过密封板设置有第三正向插板阀。提高了预热区的预热速度，减少了预热时间，提高了正压真空压力烧结炉生产效率。
主权项：1.一种正压真空压力烧结炉，其特征在于，包括热压烧结炉、第一正向插板阀、第一反向插板阀、第二正向插板阀、第三正向插板阀、多个密封板、预热区和第一冷却区；所述预热区的进口端通过所述密封板设置有第一正向插板阀，所述预热区的出口端通过所述密封板设置有第一反向插板阀，所述热压烧结炉的进口端通过所述密封板设置有所述第一反向插板阀，所述热压烧结炉的出口端通过所述密封板设置有所述第二正向插板阀，所述第一冷却区的进口端通过所述密封板设置有所述第二正向插板阀，所述第一冷却区的出口端通过所述密封板设置有所述第三正向插板阀。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中科同帜半导体(江苏)有限公司 北京中科同志科技股份有限公司 一种正压真空压力烧结炉
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