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申请/专利权人：三一硅能(朔州)有限公司
摘要：本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，公开了断面深度测量装置及硅棒检测系统，断面深度测量装置包括：对中组件，具有至少三个对中臂，至少三个对中臂的相交位置形成测量位，对中臂适于与晶棒断面的周缘配合；测量件，设置于测量位，测量件适于沿着晶棒的轴向测量深度数据，本实用新型在对中组件的测量位设置测量件，需要测量晶棒断面的深度时，将对中组件与晶棒端部周缘配合，当每个对中臂与晶棒端部的配合位置至测量位的距离一致时，表明测量位与凹面对中完成，此时通过测量件即可快速精准的得出凹面的深度，测量方式简单可靠，不仅能够精准的定位凹面的最深处，同时还能够快速得出深度数值。
主权项：1.一种断面深度测量装置，其特征在于，包括：对中组件，具有至少三个对中臂101，至少三个所述对中臂101的相交位置形成测量位，所述对中臂101适于与晶棒3断面的周缘配合；测量件201，设置于所述测量位，所述测量件201适于沿着所述晶棒3的轴向测量深度数据。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三一硅能(朔州)有限公司 断面深度测量装置及硅棒检测系统
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