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申请/专利权人：东莞市德隆保纳米科技有限公司
摘要：本申请涉及真空镀膜领域，公开了镀膜靶材的快速更换装置。本申请中，所述设备底座上表面固定连接有电机，所述主支撑板外表面焊接有固定环，所述固定环上表面固定连接限位卡，所述固定环内表面固定连接有固定弹片，所述固定环内表面活动连接有镀膜靶材耗材，所述储存桶对应固定环上方下表面活动连接有固定件，使用时，通过电机的旋转，在拆除件处进行镀膜靶材耗材的脱离，到达储存桶处时固定件采用斜向的外表面，固定环的上表面对应固定件时顶升时向外侧活动，使新的镀膜靶材耗材由储存桶脱离，掉落在固定弹片的上方，继续旋转时，镀膜靶材耗材的厚度对应储存桶的下表面时只能位移出一个，从而固定件卡住上一层的镀膜靶材耗材等待下一轮的更换。
主权项：1.镀膜靶材的快速更换装置，包括设备底座1，其特征在于：所述设备底座1上表面固定连接有电机2，所述电机2输出端外表面固定连接有主支撑板3，所述主支撑板3外表面焊接有固定环4，所述固定环4对应主支撑板3外表面焊接有侧支撑板7，所述固定环4上表面固定连接有限位卡5，所述固定环4内表面固定连接有固定弹片6，所述固定环4内表面活动连接有镀膜靶材耗材8，所述设备底座1对应固定弹片6上方外表面固定连接有储存桶12，所述储存桶12对应固定环4上方下表面活动连接有固定件13。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞市德隆保纳米科技有限公司 镀膜靶材的快速更换装置
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