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申请/专利权人：天祝玉通石门河碳化硅有限公司
摘要：本实用新型公开的一种碳化硅加热装置，属于碳化硅晶片加工技术领域；包括：不锈钢炉体、石墨坩埚、预热座，所述石墨坩埚置于不锈钢炉体内，内盖置于石墨坩埚顶部，连接杆贯穿内盖并延伸至石墨坩埚内，且连接杆底部设置固定架，籽晶置于固定架底部，第一加热线圈、第二加热线圈和第三加热线圈均绕置于石墨坩埚外侧，所述预热座置于不锈钢炉体底部，吹气盒置于预热座内，吹气盒顶部连接有喷管，碳化硅微粉升华后，坩埚底部通入气体，能够将升华后的碳化硅微粉向上吹，利用四个加热线圈进行加热，在坩埚内形成轴向温度梯度，籽晶处温度低于石墨坩埚下方温度，方便升华的碳化硅微粉在籽晶表面冷却结晶，提高结晶效率。
主权项：1.一种碳化硅加热装置，其特征在于：包括不锈钢炉体3、石墨坩埚7、预热座10，所述石墨坩埚7置于不锈钢炉体3内，内盖14置于石墨坩埚7顶部，连接杆2贯穿内盖14并延伸至石墨坩埚7内，且连接杆2底部设置固定架13，籽晶15置于固定架13底部，第一加热线圈4、第二加热线圈5和第三加热线圈6均绕置于石墨坩埚7外侧，第二加热线圈5位于第一加热线圈4下方，第三加热线圈6位于第二加热线圈5下方，所述预热座10置于不锈钢炉体3底部，吹气盒17置于预热座10内，吹气盒17顶部连接有喷管12，喷管12竖直向上延伸并插置于石墨坩埚7底部，吹气盒17底部连接有连接管8，连接管8连接有压缩机9。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天祝玉通石门河碳化硅有限公司 一种碳化硅加热装置
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