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申请/专利权人：扬州信尚电子科技有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体离子注入机技术领域，且公开了一种可防滴落的靶盘涂胶设备，该可防滴落的靶盘涂胶设备，包括机体，所述机体的内壁固定安装有电机，所述电机的输出端固定安装有真空吸盘，所述机体的顶部固定安装有储液箱，所述储液箱的外壁固定安装有水泵，所述水泵的进水端与储液箱的内壁连通，所述机体的顶部固定安装有支臂，所述支臂的顶部固定安装有涂胶嘴，所述支臂的外壁固定安装有出胶管，所述出胶管的一端固定安装在涂胶嘴的内壁，该可防滴落的靶盘涂胶设备，通过气缸带动横杆向下移动，与此同时配合连杆与摆臂可以带动两组挡罩贴合在一起，通过两组挡罩可以将涂胶嘴罩住，避免涂胶嘴上残留的胶水滴落至靶盘上。
主权项：1.一种可防滴落的靶盘涂胶设备，包括机体1，其特征在于：所述机体1的内壁固定安装有电机2，所述电机2的输出端固定安装有真空吸盘3，所述机体1的顶部固定安装有储液箱4，所述储液箱4的外壁固定安装有水泵5，所述水泵5的进水端与储液箱4的内壁连通，所述机体1的顶部固定安装有支臂6，所述支臂6的顶部固定安装有涂胶嘴7，所述支臂6的外壁固定安装有出胶管8，所述出胶管8的一端固定安装在涂胶嘴7的内壁，所述出胶管8的另一端固定安装在水泵5的出水端，所述支臂6上设置有防止涂胶嘴7滴胶的防护机构9，所述支臂6上设置有抽吸机构10，所述防护机构9包括：气缸91，所述气缸91固定安装在支臂6的内壁，所述气缸91的活塞端固定安装有横杆95；摆臂92，所述摆臂92的三分之一处铰接在支臂6的外壁，所述摆臂92的底部固定安装有挡罩94；连杆93，所述连杆93的一端铰接在横杆95的侧壁，所述连杆93的另一端铰接在摆臂92的顶部。
全文数据：
权利要求：
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