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申请/专利权人：苏州三微智能科技有限公司
摘要：本实用新型公开晶圆切割液压滤装置，涉及晶圆切割液压滤技术领域。该晶圆切割液压滤装置，包括机架，所述机架的一侧滑动连接有主梁，所述主梁的一侧固定连接有滤板，所述主梁的一侧设置有联动机构。该晶圆切割液压滤装置，通过设置套筒一，当需要便于压滤后的滤饼落下时，首先通过移动块带动滤板移动在机架的内部，此时滤板带动主梁移动，主梁一侧设置的套筒一和套筒二等均滑出，此时滑杆设置在另一个主梁的内部，此时移动块带动一个主梁移动即可通过联动机构带动多个主梁和滤板移动，便于压滤后的滤饼落下，该装置便于压滤后的滤饼落下。
主权项：1.晶圆切割液压滤装置，包括机架（1），其特征在于：所述机架（1）的一侧滑动连接有主梁（2），所述主梁（2）的一侧固定连接有滤板（3），所述主梁（2）的一侧设置有联动机构（4）；联动机构（4），所述联动机构（4）包括套筒一（401）和限位孔（402），所述套筒一（401）固定连接在主梁（2）的一侧，所述限位孔（402）开设在主梁（2）的一侧。
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百度查询： 苏州三微智能科技有限公司 晶圆切割液压滤装置
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